판매용 중고 KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35 #9192614

ID: 9192614
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35는 웨이퍼 수준의 전기 특성을 정확하게 측정하도록 특별히 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 단일 플랫폼 (고해상도 이미징 장치) 과 자동화된 스핀 스탠드 (spin-stand) 의 두 가지를 결합합니다. 이 두 기기를 함께 사용하면 비 침습적, 비용 효율적, 반복 가능한 검사 및 웨이퍼 레벨 집적 회로 (IC) 의 특성화가 가능하므로 칩 특성의 세부 특성화가 가능합니다. KLA Omnimap RS-35에 사용되는 이미징 머신은 전압, 전류, 커패시턴스 및 저항을 포함한 많은 전기 매개변수를 동시에 측정 할 수있는 고해상도, 전체 시야 이미징 기능을 제공합니다. 자동 스테이지 (automated stage) 및 고속 셔터 (high-speed shutter) 는 웨이퍼의 여러 부분에 걸쳐 이미지를 신속하게 스캔 및 수집하는 데 사용됩니다. 이미징 도구 (Imaging Tool) 는 또한 다양한 광학 필터 배열을 제공하여 이미징 프로세스의 감도 및 선택성을 향상시킵니다. 자동 스핀 스탠드는 TENCOR OMNIMAP RS35에 사용되는 고급 엔지니어링입니다. 이 제품은 여러 가지 속도로 웨이퍼를 회전시킬 수 있으며, 칩의 적절한 평가에 필요한 기울기/이동/회전 (tilt/shift/rotation) 동작을 허용합니다. 스핀 스탠드에는 힘 제한 터치 다운 장치 (force-limited touchdown device) 가 장착되어 있어 프로브 (probe) 와 테스트 된 포인트 사이에 반복 가능하고 부드러운 접촉이 가능합니다. 전체 자산은 컴팩트하고 효율적이며, 다른 프로세싱 플랫폼과 통합할 수 있는 표준 (standard) 설치 공간으로 설계되어 있습니다. 또한, 이 모델은 열 서명을 매우 낮게 유지하고 열을 효율적으로 발산하여 장비 난방 (minimal equipment heating) 과 신뢰할 수있는 작업 환경을 제공합니다. 이 시스템은 또한 다양한 접속 옵션 (Connectivity Option) 을 갖추고 있어 데이터 및 이미지 파일을 다른 시스템으로 빠르고 쉽게 전송할 수 있습니다. 이미징 유닛과 스핀 스탠드의 조합으로 KLA OMNIMAP RS35는 웨이퍼 테스트 및 도량형의 업계 선두주자입니다. 이 제품은 칩의 측정 및 특성화를위한 비침습적 (non-invasive), 비용 효율적인 방법을 제공하여 개별 칩의 전기 특성에 대한 자세한 지식을 제공합니다. 이것은 반도체 제조에서 집적 회로 설계 (Integrated Circuit Design) 에 이르기까지, 이 기계는 다양한 산업에 적합한 선택입니다.
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