판매용 중고 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9216063

KLA/TENCOR 5500 Surfscan은 업계 최고의 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 웨이퍼에 대한 고정밀 광학 검사 및 지형 측정을 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구는 인라인 (in-line) 및 오프라인 결함 검사 및 항복 분석을 위한 다중 지름, HD, 반복 가능한 측정 기능을 제공합니다. KLA 5500 Surfscan은 단일 테스트 실행에서 다양한 데이터를 수집 할 수있는 멀티 센서 (multisensor) 시스템을 갖추고 있습니다. 여기에는 웨이퍼의 광학 이미지, 단계 높이 및 평면도, 프로파일, SEM 횡단면 이미지, 피쳐 식별 및 정렬, 오버레이와 같은 지형 측정이 포함됩니다. TENCOR 5500 Surfscan은 또한 새로운 플로팅 옵틱 모션 컨트롤 (floating optics motion control) 을 사용하여 웨이퍼 주변의 모든 모션과 전체 웨이퍼 전체에 걸쳐 데이터 포인트를 캡처하는 고해상도 매핑 장치를 제공합니다. 이 기계에는 자동 결함 감지 (automated defect detection) 알고리즘이 포함된 결함 검토 (defect review) 기능이 포함되어 있어 웨이퍼에서 문제가 있는 기능을 신속하게 식별할 수 있습니다. 프로세스 관련 결함을 파악하는 자동화된 결함 추적, 분석, 보고 툴 (automated defect tracking, analysis and reporting tool) 을 제공하며, 여러 언어를 지원하므로 자국 언어로 자산과 상호 작용할 수 있습니다. 또한 DLA는 전체 검사 표준, 데이터 수집 하드웨어/소프트웨어, 타사 (Third-Party) 조정 서비스를 제공하여 정확한 데이터 수집 및 분석을 보장합니다. 5500 Surfscan (Surfscan) 은 견고한 디자인과 안정적이고 반복 가능한 측정 기능 덕분에 업계에서 널리 사용되는 선택이되었습니다. 고해상도 매핑 모델 (High-Resolution Mapping Model), 다양한 데이터 캡처 기능, 자동화된 결함 검토 기능을 통해 Wafer Metrology 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다. 강력한 소프트웨어, 자동 제조 및 통합 보고 기능을 갖춘 KLA/TENCOR 5500 Surfscan은 전 세계 반도체 Fab에 대한 종합적인 웨이퍼 테스트 솔루션을 제공합니다.