판매용 중고 KLA / TENCOR 4500 / 5500 SURFSCAN #9105698

KLA / TENCOR 4500 / 5500 SURFSCAN
ID: 9105698
웨이퍼 크기: 6" - 8"
Particle inspection systems, 6" - 8" 4500: up to 6" at .21 micron 5500: up to 8" at .20 micron.
KLA/TENCOR 4500/5500 SURFSCAN은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 전기, 광학 및 화학 매개변수 분석에 대한 업계 최고의 정확성과 해상도를 제공합니다. 반도체 웨이퍼, 박막 기판, 마스크, 포토 마스크 등의 결함을 감지하고 모니터링하는 데 사용됩니다. KLA 4500/5500 SURFSCAN 시스템은 자동 웨이퍼 매핑, 결함 감지, 심층 분석, 결함 검토 및 분류 등 다양한 테스트 및 도량형 프로세스에서 강력한 애플리케이션을 제공합니다. 광학 (optical), 전기 (electrical) 또는 화학 (chemical) 테스트 옵션을 사용하여 다양한 응용 프로그램에서 다양한 성능을 제공할 수 있습니다. TENCOR 4500/5500 SURFSCAN 기계의 고급 광학 테스트 장비 (High-End Optical Testing Equipment) 는 고급 알고리즘을 활용하여 웨이퍼의 전체 표면을 검사하고 시장에서 사용 가능한 다른 기술보다 더 큰 결함과 기능을 감지합니다. 게다가, 활성구조의 전기적 특성을 측정하도록 설계된 다양한 프로브 (Probe) 를 갖춘 전기 테스트 도구 (Electrical Testing Tool) 를 제공합니다. 자산은 또한 고급 도량형 용도 (예: 웨이퍼의 표면 피쳐를 스캔 및 이미징) 로 사용할 수 있습니다. 또한, 4500/5500 SURFSCAN 모델은 결함 검토 및 기능 분석을 용이하게 하는 다양한 기능과 도구를 제공합니다. 예를 들어, scan and review 모듈은 사용자가 픽셀 레벨까지 기능을 검사할 수 있도록 확대/축소 기능을 제공합니다. 또한, 장비는 결함 보고서 (Defect Report) 와 분석 (Analysis) 을 자동으로 생성하여 웨이퍼 전체에 걸쳐 상세한 데이터 분석 및 비교를 수행할 수 있습니다. KLA/TENCOR 4500/5500 SURFSCAN은 웨이퍼 설계 최적화, 제조 수익률 향상, 빠르고 포괄적인 검사 기능을 제공하는 최첨단 기술을 제공합니다. 강력한 성능과 고급 기능을 갖춘 KLA 4500/5500 SURFSCAN은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 어플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다.
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