판매용 중고 FRT MicroProf #9394687
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FRT MicroProf (FRT MicroProf) 는 고급 재료와 관련된 광범위한 웨이퍼 매개변수 및 매개변수를 측정 및 평가하도록 설계된 고정밀 웨이퍼 도량형 및 테스트 장비입니다. 이 제품은 복잡한 테스트 및 검증 작업의 요구를 충족시키기 위해 소미크론 (sub-micron) 정확도의 웨이퍼 측정을 제공하는 다양한 분석 시스템을 갖추고 있습니다. MicroProf 시스템은 FRT 고급 이미징 기술을 기반으로 하여 두께, 거칠기, 기존 결함 등의 웨이퍼 매개변수 (wafer parameters) 를 측정할 수 있습니다. 반도체 웨이퍼 (wafer), 평면 패널 디스플레이, 포토 마스크 (photomask), 의료 장치 기판 등 다양한 기판 재료에서 매개변수를 이미징 할 수 있습니다. 신소재 테스트· 개발용 첨단 플랫폼 (Advanced Platform) 이기도 하다. 소재의 미세 구조 (Microstructure) 와 물리적 특성 (Physical Property) 에 대한 학습을 위한 테스트 환경을 제공한다. FRT MicroProf 장치는 선 너비, 단계 높이, 공로의 그림, 입자 크기, 결함 크기 및 밀도, 임계 치수, 에치 깊이 및 균일, 오버레이 측정 등 다양한 도량형 및 결함 매개 변수를 감지, 특성화 및 측정 할 수 있습니다. 이 제품은 사용자의 기존 반도체 웨이퍼 프로세스 머신과 완벽하게 통합되어, 데이터 전송 (Real Time Data Transfer) 및 매핑 (Mapping) 을 제공하며, 여러 웨이퍼의 데이터 분석을 단순화하는 데이터 마이닝 소프트웨어를 제공합니다. MicroProf는 컴퓨터 자동화 광 도구를 사용하며, 이미지 획득, 처리 및 분석 구성 요소를 포함합니다. 빠른 스캐닝 기능과 자동 초점, 자동 셔틀 기능을 통해 정확한 측정이 신속하게 이루어집니다. 또한 이미징 (Imaging), 조명 (Illumination), 소프트웨어 기술 (Software Technology) 의 최신 발전으로 자산이 작은 기능을 감지하거나 여러 웨이퍼에서 복잡한 데이터를 분석할 수 있습니다. FRT MicroProf 모델의 고급 소프트웨어를 사용하면 전체 웨이퍼 표면에서 웨이퍼 매핑을 수행할 수 있습니다. 동기화된 프로세스에서 여러 웨이퍼 (wafer) 를 측정하는 기능은 wafer 간의 참조 오정을 최소화하므로 매우 효율적입니다. 또한 MicroProf 장비는 원격 처리를 지원하며, 웨이퍼 처리 및 처리량을 위한 뛰어난 유연성을 제공합니다. 마지막으로, 시스템은 샘플의 고유한 광학 특성을 활용하여 측정 정확도 (measurement accuracy) 와 신뢰성 (안정성) 을 더욱 높입니다. 높은 정확도와 최적화된 이미징을 통해 측정된 매개변수를 정확하게 해석할 수 있습니다. 또한, 비용 효율적인 설계를 통해 FRT MicroProf 는 시장에서 선도적인 Wafer Metrology 및 테스트 솔루션 중 하나입니다.
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