판매용 중고 FOUR DIMENSIONS 280SI #293642472

FOUR DIMENSIONS 280SI (FD280SI) 는 KLA-Tencor에서 제조 한 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. FD280SI는 웨이퍼 레벨 도량형, 광학 검사, 결함 검토, 전기 테스트 등 일련의 분석기 및 도량형 도구를 결합하여 전체 웨이퍼 레벨 테스트 범위를 제공합니다. 최대 12 인치 직경의 웨이퍼를 위해 설계된 FD280SI는 초고속, 완전 자동화 샘플 전송 시스템을 갖추고 있으며, 빠르고, 정확하며, 효율적인 샘플 처리를 제공합니다. FD280SI의 고급 이미지 처리 (advanced image processing) 및 동작 제어 (motion control) 알고리즘은 최고 수준의 정확도를 보장하므로 일관성 있고 반복 가능한 측정이 가능합니다. 이 장치에는 환경 변화를 보완하고 테스터 (Testers) 의 성능을 향상시키는 모든 처리 도구 (Processing Tools) 가 포함되어 있습니다. 광학 결함 검사 및 검토를 위해 FD280SI의 레이저 옵토 스톱 (opto-stop) 전동 웨이퍼 검사기 (LOWIS) 는 80 나노 미터 최소 스팟 크기로 웨이퍼의 고해상도 이미징을 허용합니다. 또한 데이터 분석을 용이하게 하기 위해 자동화된 결함 분류 및 결함 검토 데이터베이스를 제공합니다. FD280SI에는 최고 수준의 테스트 범위를 제공하기 위해 여러 개의 아날로그, 혼합 신호 및 디지털 다이 테스터 (MSPD) 가 포함됩니다. 이 테스터는 정적 특성, 전류, 전압 및 전력 수준을 평가하는 것을 포함하여 다이의 전기 행동을 판단하는 데 사용됩니다. 테스터는 또한 밀도 테스트 (Density Testing) 를 특징으로하며, 이는 다이 피쳐의 균일성을 평가합니다. 또한 MSPD 테스터는 통계적 분석 (statistical analysis) 및 결함 데이터베이스 검토 (defect database review) 를 자동화하여 문제의 진단과 해결을 용이하게 합니다. 마지막으로 FD280SI는 산란 측량, 이미징 및 FOURIER 변환 분광법 (FTIR) 을 포함한 여러 도량형 도구를 갖추고 있습니다. 이러한 공구는 서피스 지형, 인터페이스 상태 밀도, 접촉 저항성 (Contact Resistivity), 컨투어 매핑 (Contour Mapping) 등 샘플의 물리적 특성을 평가하는 데 사용됩니다. FD280SI의 도량형 (Metrology) 도구를 사용하여 제조 및 항복 변경의 영향을 평가하여 효율적인 제품 최적화를 가능하게 할 수도 있습니다. 요약하면, 280SI (FD280SI) 는 다양한 작업에 걸쳐 전체 웨이퍼 수준의 테스트 범위를 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 이 자산에는 여러 개의 테스터, 이미지 처리 (image processing) 및 동작 제어 알고리즘, 디바이스 성능을 측정, 진단, 최적화할 수 있는 도량형 툴이 포함됩니다.