판매용 중고 E+H METROLOGY MX 204-8-37-Q #9234111
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ID: 9234111
빈티지: 2007
Wafer measurement system
Square / Pseudo-square: 125-156 mm
Gauge type: MX 204-8-25-q
Thickness range: 200 - 600 μm
Real: 180 - 600 μm
CE Marked
2007 vintage.
E + H METROLOGY E + H METROLOGY MX 204-8-37-Q는 고속 및 정확도 측정 데이터를 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 빠르고 자동화된 방법으로 정확한 에치 깊이 (etch depth) 와 크기 (dimensions) 를 측정 할 수있는 고급 석판화 기능을 제공합니다. 전체 장치는 MX204 CWC (Configurable Wafer Characterization Machine), 통합 테스트 베드, 여러 자동화 기술 및 완전한 도량형 패키지를 구성하는 다양한 액세서리 및 커넥터로 구성됩니다. 일반적으로 이 도구는 고속 (high-speed) 으로 작동하며 12 초 이내에 샘플 측정이 가능합니다. 최대 시야가 1.5um, 해상도가 0.5um 인 고해상도 (optical microscope) 가 장착됐다. 최대 40도 (C) 의 온도에서도 샘플을 분석 할 수있는 통합 웨이퍼 처리 자산 (wafer handling asset) 도 있습니다. 광학 현미경은 웨이퍼 평탄도를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 프로세스 매개변수를 모니터링하기 위해 두께와 결함 크기를 지정합니다. 또한, 샘플을 실시간으로 이미지화할 수 있으며, 최대 20 개의 이미지를 실시간으로 표시할 수 있습니다. 또한, 모델에 포함 된 자동화 기술은 결함 및 에치 깊이/치수 측정 (etch depth/dimension measurement) 을 포함하는 완전 자동 검사 프로세스를 제공 할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 빠른 환경 변화에 적응하기 위한 PLC (programmable logic controller) 와 주변 장치 제어를 위한 직렬 링크를 통합합니다. 이 시스템은 또한 자동차, 광학 요구 사항 등 다양한 테스트, 도량형 레시피를 지원합니다. 또한, 이 장치는 다양한 사용자의 요구에 맞게 구성할 수 있습니다. 여기에는 E + H MAGSYS METROLOGY 소프트웨어, 효율적인 도량형 및 결함 분류를위한 강력한 플랫폼, 고속 샘플을 테스트하기위한 Probing Machine이 포함됩니다. 이 기계는 Teradyne 및 KLA를 포함한 광범위한 타사 측정 시스템과도 호환됩니다. 마지막으로, 이 도구는 직렬 링크와 이더넷 연결을 통해 컴퓨터에 연결할 수 있습니다. 자산에는 Wafer Edge Detection Platform 및 Inspection Platform과 같은 다양한 액세서리가 제공됩니다. 또한 설치/서비스 패키지 (setup and service package) 를 모델과 함께 사용하여 빠른 설치/시동 및 조정/유지 보수 작업을 원활하게 수행할 수 있습니다.
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