판매용 중고 DNS / DAINIPPON VM-2010 #9210340

DNS/DAINIPPON VM-2010은 제조 공정에서 반도체 웨이퍼 상태를 평가하는 데 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 비전 (vision), 이미지 센서 기술, 고정밀 평판/거칠기 측정과 같은 Daikin의 고급 기술을 사용하여 웨이퍼 제조 프로세스 중 결함을 식별합니다. DNS VM-2010에는 선형 및 각도 동작 기능을 모두 갖춘 8축 동작 제어 장치가 장착되어 있습니다. 여기에는 다중 이미징 카메라와 실시간으로 웨이퍼 결함을 감지하고 정량화하는 3D 컨투어 탐지기가 포함됩니다. 고급 웨이퍼 검사 알고리즘은 즉시 프로세스 개선에 대한 결함을 빠르고 정확하게 식별 할 수 있습니다. 이 도구는 쉽게 작동하도록 설계되었습니다. 사용자 친화적인 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 빠른 수동 (manual) 또는 반자동 (semi-automatic) 피쳐 인식 기능을 사용할 수 있는 반면, 색상으로 표시된 그림 그래픽은 웨이퍼 서피스를 시각적으로 표현할 수 있습니다. 또한 DAINIPPON VM 2010에는 프로세스 안정성과 일관성을 모니터링하는 다양한 데이터 및 통계 분석 기능이 포함되어 있습니다. VM-2010의 높은 정확도 도량형 기능은 고성능 웨이퍼의 고수율 생산을 촉진합니다. 해상도가 0.2 nm 아래로 평탄도/거칠기 및 깊이/윤곽선을 포함하여 표면 측정을 수행합니다. 또한 복잡한 계산없이 도펀트 분포 균질성을 직접 결정할 수 있습니다. 빠른 처리 시간과 강력한 분석 기능으로 DNS/DAINIPPON VM 2010은 향상된 웨이퍼 (Wafer) 생산 수율을 위해 강력한 분석 및 장애 진단을 제공합니다. 유연한 아키텍처는 업계 표준 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 를 지원하므로 기존 운영 환경에 자산을 효율적으로 통합할 수 있습니다. 무엇보다도 DNS VM 2010은 고품질 웨이퍼 생산에 필수적인 도구입니다.