판매용 중고 CENSOR ANS 500 #9251757

CENSOR ANS 500
ID: 9251757
웨이퍼 크기: 12"
Surface inspection system, 12" Cassette to cassette.
CENSOR ANS 500은 반도체 웨이퍼 및 기타 얇은 표면을 검사하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 이미징 (advanced imaging) 기술을 사용하여 웨이퍼의 구조와 중요한 기능을 매핑하여 고정밀 분석 (high-precision analysis) 및 측정을 제공합니다. ANS 500 장치는 반도체 웨이퍼 홀더, 고해상도 CCD 카메라, 반음계 초점 현미경, 분광기 및 분광계 제어 장치를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 웨이퍼 홀더는 약 0.25 ~ 8.0 mm 범위의 다양한 웨이퍼 두께를 수용하도록 조정할 수 있습니다. CCD 카메라는 최대 해상도 2880 x 2160 픽셀의 대형 2 차원 이미지를 캡처 할 수 있습니다. 반음계 공백 현미경은 이러한 이미지를 처리하여 라인 너비, 게이트 길이, 프로파일 모양 등 웨이퍼 서피스 피쳐의 고해상도 이미지를 제공합니다. CENSOR ANS 500 기계의 분광계 구성 요소는 웨이퍼에서 방출되거나 반사되는 빛의 진폭의 주파수와 진폭을 측정합니다. 이 측정은 비균일 두께 (non-uniform thickness) 나 레이어 구조의 불일치와 같은 결함을 식별하는 데 도움이 될 수 있습니다. 분광계 제어 장치 (spectrometer control unit) 는 분광계 측정을 처리하여 웨이퍼의 입자 크기, 입자 정렬, 화학 조성 및 열 균일성에 대한 데이터를 제공합니다. 이미지 처리 외에도 ANS 500 도구는 여러 가지 다른 테스트를 수행 할 수 있습니다. 이러한 테스트에는 정전기 방전 (ESD) 테스트, 화학 조성 및 전기 특성이 포함됩니다. 에셋은 또한 웨이퍼의 결함 또는 이상을 식별하고, 표면 결함의 컨투어 맵 (contour map) 을 생성하는 데 사용될 수 있습니다. CENSOR ANS 500 모델은 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 기능을 제공합니다. 이미지 처리, 측정, 테스트 (testing) 를 결합함으로써 운영 프로세스의 중단을 최소화하면서 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장비는 다양한 웨이퍼 (wafer) 와 호환되며, 고급 설계 복잡성이 있는 차세대 장치를 처리하도록 조정할 수 있습니다.
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