판매용 중고 CAMECA Lexfab 300 #293639185

CAMECA Lexfab 300
ID: 293639185
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Shallow probe metrology system, 12" 2010 vintage.
CAMECA Lexfab 300은 고성능 다중 모달 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 원자 현미경 (AFM) 에서 광학 분광학에 이르기까지 다양한 측정을 수행 할 수있는 다재다능한 도구입니다. 이 시스템은 이중 챔버 구조이며, 상단 챔버는 이미징, 힘 분광법 및 기타 작동 기술을위한 AFM 역할을하며, 하부 챔버 (lower chamber) 는 광학 측정을위한 분광실 역할을합니다. AFM 자체에는 클로즈드 루프 스캐너 (closed-loop scanner) 가 장착되어 1 나노미터 해상도에 도달하고 스캐닝 속도는 최대 100Hz입니다. 분광식 챔버에는 분광계 (spectrometer) 와 여러 조명원이 장착되어 반사율, 투과율, 형광과 같은 측정이 가능합니다. 이 장치에는 자동 웨이퍼 처리 장치 (automated wafer handling machine) 가 있어 2 개의 챔버에서 쉽고 빠른 웨이퍼 전송이 가능합니다. CAMECA LEXFAB300은 다양한 측정을 수행 할 수 있으며, 이는 연구 및 개발에 유연한 도구입니다. 다양한 조건에서 서피스 이미지 생성, 기계적 강성 (mechanical stiffness) 및 접착 (adhesion) 과 같은 재료 특성 측정, 표면의 광학 분석 등을 수행 할 수 있습니다. 반도체, 금속, 중합체, 염과 같은 물질을 특성화하는 데 사용될 수 있습니다. 이 툴은 또한 여러 웨이퍼에서 데이터를 동시에 수집할 수 있으므로 품질 보증 (Quality Assurance) 및 프로세스 제어 (Process Control) 에 유용한 툴입니다. 중첩 측정 (overlay measurements), 결함 연구 (defect studies), 서피스 평판 검사 (surface flatness inspection) 및 프로세스 매개변수의 영향 측정과 같은 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. LEXFAB-300은 반도체 장치의 제조 및 도량형을위한 필수 도구입니다. 즉, 처리량과 정확도를 극대화하여 연구, 개발, 프로세스 제어를 위한 최적의 선택이라 할 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다