판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR 9520 UltraGage #9245050
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ID: 9245050
Dimensional measurement system
ASC200 Controller included
Thickness: ± 1.00µ
Shape (Bow / Warp):
±( 3.00 + 5% of reading) µm
±( 4.00 + 5% of reading) µm
Global flatness: ± 0.50 µm
Integral wafer centering and pre-aligner
Backside contacting chuck
Vacuum chuck diameters:
Small (23.3 mm): 3", 100 mm -150 mm wafers
Large (33.4 mm): 125 mm- 200 mm wafers
Wafer contact materials:
Resting pads: Santoprene
Vacuum chuck: Polyurethane
Nominal wafer thickness range: 250 µm - 750 µm
Auto-loader:
Single / Dual cassette
Sorting: Slot-to-slot / Cassette-to-cassette
Backside contact, horizontal cassette orientation
Wafer contact material: Teflon
Nominal wafer thickness range: 250 µm - 750 µm
Conductivity type: P / N
Edge exclusion:
Thickness: 3 mm / 5 mm
Shape: 3 mm
Nominal wafer thickness: 250 µm - 750 µm
Resistivity: > 0.1-200 Ω cm
Edge gradient: 0.1 µm/mm
Power supply:
Temperature range: 12.7°- 29.4° C (55° - 85° F)
Relative humidity: 55 to 95% non-condensing
Vacuum: 0.6 SCFM, 635 mm (25") Hg ± 10%
Peak usage: 2.8 kVA
Voltage: 100/120/200/208/220/230/240 VAC ± 10%
50/60 Hz, Single phase.
ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGage는 ADE에서 설계 및 제조 한 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. ADE 9520 UltraGage 는 고급 하드웨어/소프트웨어 기능과 결합된 혁신적인 기술을 사용하여 최고 수준의 정확도, 정확도, 성능을 제공합니다. 이 시스템은 사용자가 반도체 (semiconductor) 와 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 산업에 사용되는 웨이퍼 (wafer) 와 기판에 대한 다양한 중요한 기능과 매개변수를 측정하도록 설계되었습니다. KLA 9520 UltraGage는 최상위 optic 및 이미지 처리를 갖춘 고속 광학 도량형 플랫폼을 기반으로합니다. 이를 통해 사용자는 전례없는 해상도와 정확도로 다양한 웨이퍼 (wafer) 기능을 측정할 수 있습니다. 이 장치는 직경 12 인치까지 반도체 기판을 검사하기 위해 특별히 설계되었습니다. 최대 12 인치 웨이퍼를 지원하는 고급 XY 스테이지 (Advanced XY Stage) 가 있으며, 여러 기판에서 미세한 기능을 측정하기위한 강력한 도구입니다. 기계에는 임계 매개변수 (critical parameter) 의 측정을 효과적으로 수행 할 수있는 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 샘플 웨이퍼에서 추적 결함, 결함, 오염을 감지할 수 있는 고급 웨이퍼 매핑 도구가 포함됩니다. 또한 측정 된 값에 대한 정확한 분석과 다양한 기판에 대한 불균일 성 (non-uniformity) 의 통계적 검출 (statistical detection) 을 허용하는 강력한 알고리즘이 있습니다. 또한, 9520 UltraGage에는 웨이퍼 품질 제어 (Wafer Quality Control) 및 도량형 (Metrology) 응용 프로그램의 매개변수를 사용자 정의하여 보다 안정적인 결과를 얻을 수 있는 소프트웨어가 내장되어 있습니다. 에셋은 또한 정확하고 반복 가능한 측정을 보장하기 위해 내장 교정 모델을 갖추고 있으며, 강력한 광학 현미경 (optical microscope) 은 표면 결함을 신속하게 식별하는 데 도움이됩니다. TENCOR 9520 UltraGage는 웨이퍼 처리 중 품질 제어 및 특성화에 이상적인 도구입니다. 강력한 기능, 뛰어난 정확도, 정확성 덕분에, 장비는 웨이퍼 제작 및 검사에 대한 귀중한 통찰력을 제공 할 수 있습니다. 향상된 성능과 안정성을 제공함으로써 ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGage는 기업의 비용을 절감하고 품질을 동시에 보장할 수 있도록 지원합니다.
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