판매용 중고 NIKON NSR 1755 G7A #9412475

NIKON NSR 1755 G7A
ID: 9412475
웨이퍼 크기: 6"
Stepper, 6".
NIKON NSR 1755 G7A 웨이퍼 스테퍼는 고급 석판 공정을 위해 특별히 설계된 고정밀 투사 정렬기입니다. 이 스테퍼는 고급 석판화 시스템 (lithography system) 의 NIKON 제품군의 일부이며, 고해상도의 단일 노출 기능을 제공합니다. NIKON NSR-1755G7A는 NIKON NSR ™ optics 및 뛰어난 이미징, 높은 정확도 및 반복 가능성을 제공하는 고급 정렬 감지 기술을 갖추고 있습니다. NSR-1755 G7A 는 깊은 UV 에서 18zm 파장의 리소그래피 (lithography) 프로세스를 지원하므로 마이크로 리토그래피 (micro-lithography) 에서 고급 리소그래피 (advanced lithography) 에 이르기까지 다양한 프로세스에 적합합니다. "스테퍼 '는 여러 가지 기판 형식 을 처리 할 수 있으며, 매우 깊이 있는 초점 을 제공 한다. 높은 처리량과 높은 정확도로, 이 시스템은 중요한 애플리케이션에 정확한 결과를 제공할 수 있습니다. NSR 1755 G7A Wafer Stepper는 NIKON 고급 광학 장비 인 NSR (tm) optics로 설계되었으며, 낮은 왜곡 시스템을 통합하여 매우 높은 정확성과 반복 성을 제공합니다. 이 장치는 내장 (built in wave) 전면 보정 메커니즘과 함께 보상 제어 (compensation control) 및 이미지 엔지니어링 (image engineering) 에 의해 활성화되어 고속 및 균일 한 이미징을 갖춘 매우 정밀한 등방성 이미징을 제공합니다. 또한, 이 기계는 훨씬 짧은 노출 시간으로 매우 높은 처리량을 허용합니다. NIKON NSR-1755 G7A는 NSR ™ optics 외에도 뛰어난 정렬 및 등록 기술을 제공합니다. 이 최첨단 NIKON 정렬 감지 기술을 사용하여 스테퍼는 4 개의 이미지 정렬 및 이미징 비교 시스템을 활용하여 웨이퍼 시프트를 정확하고 정확하게 감지 할 수 있습니다. 이와 함께, 기계는 0.25 미크론의 다이 투 다이 오버레이 정확도와 0.10 미크론 미만의 비 균일 성을 특징으로합니다. 이 스테퍼는 높은 수치 조리개 값 및 초점 깊이와 결합하여 고급 리소그래피 (lithography) 프로세스에 대한 고정밀 이미징을 제공합니다. NSR-1755G7A 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 고급 리소그래피 프로세스에 뛰어난 해상도와 정확도를 제공하는 정밀 도구입니다. 신뢰할 수 있는 NSR ™ 옵틱에서 고급 정렬 감지 (Advanced Alignment Detection) 기술까지, 이 스테퍼는 최소 이미지 왜곡으로 매우 정밀한 이미징을 제공합니다. 높은 처리량, 고해상도, 신뢰성을 자랑하는 NIKON NSR 1755 G7A 는 다양한 리소그래피 애플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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