판매용 중고 NIKON NSR 1755 G7A #9226366

NIKON NSR 1755 G7A
ID: 9226366
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1990
Stepper, 6" 1990 vintage.
NIKON NSR 1755 G7A 웨이퍼 스테퍼는 반도체 장치 생산을 위해 설계된 고급 자동 석판화 장비입니다. 이 제품은 회사 고유의 석판화 (lithography) 제품의 전체 범위를 활용하여 장치 성능 향상을 위한 최적의 웨이퍼 이미징 (wafer imaging) 과 해상도를 보장합니다. 이 스테퍼는 4 가지 기술의 조합을 사용하여 정교한 이미징 정확도를 달성합니다. 이러한 기술에는 고급 설계 스키마, 고급 조명 소스, 향상된 광학 디자인, 향상된 해상도 성능 등이 포함됩니다. 이러한 기능을 통해 스테퍼는 고속 최대 20 nm 해상도를 달성 할 수 있습니다. 스테퍼는 수정 된 MOS (Optical Substrate) 디자인의 수정 된 버전을 사용합니다. 이를 통해 전체 시야에서 조명 (lighting) 과 조명 (illumination) 을 개선할 수 있으며, 최고의 세부 사항도 선택할 수 있습니다. 이 외에도, 스테퍼는 독특한 저분산, 저비용 조명원을 사용합니다. 즉, 스테퍼는 매우 정밀하게 일관된 노출을 생성 할 수 있습니다. 또한 매우 정교 한 광학 "시스템 '을 갖추고 있는데, 이것 은 난시 - 리소그래피 의 흔한 문제 - 를 제거 해 준다. 이 단위로, 난시가 완전히 제거되어, 극도의 정확성으로 높은 디테일의 이미징을 허용합니다. 또한 고품질 옵티컬 시스템 (Optical System) 을 통해 전력 소비를 줄여 최대 20nm 해상도를 낼 수 있습니다. 또한 NIKON NSR-1755G7A 는 다양한 반도체 웨이퍼 (wafer) 와 호환성이 뛰어나 효율성이 높고 다재다능합니다. 웨이퍼는 로딩 플레이트에 로드되며, 자동으로 위치를 읽고 NIKON 특허를받은 PSS (Placement-Spanner) 기술을 사용하여 스테퍼에 정확한 배치를 통해 정확한 이미징을 제공합니다. 마지막으로, NIKON은 스테퍼를위한 일련의 정확성 및 제어 솔루션을 제공합니다. 여기에는 매번 상세하고 정확한 이미지를 제공하는 NIKON L-SAP 카메라 머신과 가장 좋은 노출 조정에 도달하기 위해 빛의 양을 실질적으로 조절할 수있는 NIKON 노출 제어 도구 (NIKON Exposure Control Tool) 가 포함됩니다. 정확한 이미징, 고정밀 조명, 정교한 광학의 독특한 조합으로 NSR-1755 G7A는 고성능 반도체 제조에 이상적인 웨이퍼 스테퍼입니다.
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