판매용 중고 NIKON NSR 1755 G7A #293610524

ID: 293610524
웨이퍼 크기: 6"
Stepper, 6" (5) Reticles NEST-3 FIA Changer.
NIKON NSR 1755 G7A는 반도체 업계의 정확한 석판화 처리를 위해 특별히 설계된 반자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 동급에서 가장 고급적이고 신뢰할 수있는 스텝 퍼 중 하나이며, 해상도 0.26 m (m) 까지 높은 고급 장치 레이어를 성공적으로 처리 할 수 있습니다. NIKON NSR-1755G7A는 4,500 W 고출력 ArF 엑시머 레이저 광원에 의해 구동되며, 최고 속도에서도 뛰어난 화질과 균일성을 제공합니다. 이 제품은 컷 (cut) 및 자르지 않은 웨이퍼 (uncut wafer) 를 포함하여 다양한 유형의 기판을 처리 할 수있는 고급 석판화 구성 요소의 통합 장비를 갖추고 있습니다. NSR-1755 G7A는 시간당 86,000 다이 (die per hour hour) 의 인상적인 패턴화 속도와 0.5 m의 확장 된 정렬 정확도로, 고밀도 및 대용량 제조 작업에 적합합니다. 이 기계에는 NIKON Vector Aligner (NVA) 와 여러 계층의 패턴 정렬을 최적화하여 최고의 생산 수율을 달성 할 수있는 2 단계 시스템이 장착되어 있습니다. NVA는 기판 수준에서 빠르고 정밀한 레이저 정렬을 위해 DUV (Deep Ultraviolet) 레이저 현미경을 사용하여 가장 어려운 정렬 및 위치 문제를 정확하게 감지 할 수 있습니다. 이 기계에는 파면 수차 (wavefront suberration) 를 제어하여 광범위한 노출 설정에서 탁월한 이미징을 유지할 수 있는 wavefront 모니터가 내장되어 있습니다. 추가 기능으로, NSR 1755 G7A에는 통합 저항 분산 장치 (Integrated Resist Dispersal Unit) 와 정확한 마이크로미터 파생 노즐이 포함되어 있어 저항의 균일 한 분산을 보장합니다. 이 기능 은 "레지스트 '의 교차 오염 을 방지 하면서 기판 을 적절 히 코팅 해 주므로, 이 기계 는 매우 정확 하고 효율적 이다. NSR-1755G7A 는 컴팩트하고 유지 보수가 간편한 아키텍처로 설계되어, 석판화 처리를 위한 가장 경제적인 솔루션 중 하나입니다. 이 기계는 공랭식 스포트라이트 머신 (spotlight machine) 으로 구성되며, 설정 및 유지 관리를 단순화하며, 바디는 페이드 프리 폴리 카보네이트 표면 (fade-free polycarbonate surface) 으로 설계되었으며, 작동하는 동안 차폐를 보호합니다. 간단히 말해서, NIKON NSR-1755 G7A는 반자동 웨이퍼 스테퍼로, 해상도가 0.26m까지 낮아진 고급 장치 계층에 대해 정확한 리소그래피 처리를 제공 할 수 있습니다. 이 기계에는 고급 석판 구성 요소, 4,500 W 고출력 ArF 엑시머 레이저 광원, 저항 분산을위한 정확한 마이크로 미터 파생 노즐, 패턴의 정확한 정렬을 보장하는 NIKON Vector Aligner가 통합되어 있습니다. 이 제품은 효율적이고 비용 효율적인 시스템으로, 고밀도 및 대용량 리소그래피 (lithography) 처리 작업에 이상적인 솔루션입니다.
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