판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6E #9276476
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ID: 9276476
웨이퍼 크기: 6"
Stepper, 6"
Lens resolution: 0.70 µm
Lens distortion: ±100 nm
Magnification error included
Open flame:
Maximum exposure area: Square 15 mm
Vertical x horizontal: 17.5 mm x 12.5 mm
Focus check: ≤ ±0.3 µm
Lamp power: 500 mW/cm²
Lamp uniformity: 3.0%
Dose controll accuracy: ±1.0%
Integrated exposure stability
Reticle blind: 0.4- 0.8 mm
Reticle rotation accuracy: 0.03 µm
Target value repeatability: 0.02 µm
LSA Telecen: ≤ ±0.5 µm
LSA Repeatability: ≤ 0.2 µm
Overlay: ≤ ±0.15 µm
Stepping accuracy: 3σ ≤ 90 nm
Wafer stage flatness: 3.0 µm / 150 mm
Chip leveling: ≤ 0.4 µm (10 mm)
Wafer transfer:
Failure / (4) Lots wafer
Prealignment2
Repeatability: 3σ 15 µm
Wafer: Flat type
Reticle size, 5"
Wafer loader
(2) Cassette tables
Ceramic arm
Reticle loader:
PPD
Reticle, 5"
Automatic Reticle Loader (ARL)
Wafer stage
Leveling stage: X, Y, Z, T
Chip leveling
Wafer holder: Ring type, 6"
Illumination:
Lens type: 0.54
Maximum expose area: 15 mm square to 12.5(H) mm x 17.5(V) mm
Reduction ratio: 5x
Lamp power supply unit
Alignment
Laser power supply: WGA and LSA
Alignment method: WGA and LSA
Systems:
MCS2
Floppy drive for storage
Environment chamber.
NIKON NSR 1505 G6E는 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 높은 정확도와 속도, 그리고 리소그래피 (lithography) 및 에칭 (etching) 프로세스에 뛰어난 이미지 품질을 제공합니다. NIKON NSR-1505G6E는 Optic과 Electronics의 고급 조합을 사용하여 뛰어난 정밀도와 화질을 제공합니다. 광학 장비에는 고수치 조리개 (NA) 렌즈가 포함되어 있어 이미징 해상도가 높습니다. 이 스테퍼는 또한 정교한 이미지 처리 시스템 (image-processing system) 과 넓은 동작 범위 (motion range) 를 갖추고 있으며, 웨이퍼 또는 기판의 이미지 패턴에 대한 위치를 쉽게 정렬하고 조정할 수 있습니다. NSR 1505 G6E 는 0.25 m 의 해상도를 가진 이미지를 제작할 수 있는데, 이는 다른 많은 웨이퍼 스텝의 해상도보다 훨씬 높은 수치입니다. 한 번에 웨이퍼 (wafer) 에 여러 패턴을 정확하게 노출시킬 수 있으며, 위치 (position) 와 노출 (exposure) 을 정확하게 조정함으로써 신뢰할 수있는 패턴 반복성을 달성 할 수 있습니다. 고속 스캔 시간이 2.1 초로, 이 스테퍼는 에너지 소비를 줄이고 인간의 개입 필요성을 최소화합니다. NSR-1505G6E는 매우 안정적이고 사용하기 쉽습니다. 이 제품은 정교한 제어 소프트웨어 (Control Software) 로 제작되었으며, 이를 통해 사용자는 스테퍼의 작동을 손쉽게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 속도/노출 시간을 실시간으로 조정할 수 있으며, 이는 노출 시간을 최적화하여 비용과 폐기물을 줄이는 데 도움이 됩니다. 마지막으로, NIKON NSR 1505 G6E 는 사용자 지정 기능이 뛰어나 특정 애플리케이션에 대한 장치를 구성할 수 있습니다. 스테퍼는 단일 (Single-pocket) 또는 이중 (Dual-pocket) 구성으로 제공되며 여러 하드웨어 모듈을 추가하여 유연성과 제어를 강화할 수 있습니다. 스테퍼는 여러 입력 형식을 사용할 수 있으며, 수동 (manual) 및 자동 (automated) 시스템 모두에 연결할 수 있습니다. 전체적으로 NIKON NSR-1505G6E 웨이퍼 스테퍼는 리소그래피 및 에칭 프로세스에 적합한 선택입니다. 정확한 고해상도 이미징, 안정적인 반복성, 뛰어난 사용 편의성을 제공합니다. 고급 옵티컬 머신, 정교한 이미지 처리 툴, 맞춤형 구성을 통해 NSR 1505 G6E 는 효율성을 높이고 운영 비용을 절감할 수 있습니다.
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