판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6E #9245623
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NIKON NSR 1505 G6E는 반도체 및 관련 산업에서 기판의 정밀 처리를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비의 첨단 기술은 NSR의 NIKON Heavy Nano Control II 플랫폼을 기반으로 한 견고한 작업 공간을 통해 높은 처리량과 균일성을 제공합니다. 기판은 기계의 고정밀 6축 동작 제어 시스템 및 초고정밀 다이렉트 드라이브 모터 장치 (direct-drive motor unit) 를 통해 초고해상도 및 무결함 재현성에 노출됩니다. 기계의 고해상도, 고해상도, 고동적 포지셔닝 머신을 통해 기판을 5nm까지 처리할 수 있습니다. 이 도구는 3 축의 온도 보상 범위가 0 ~ 60 ° C 인 열적으로 안정적인 스테이지 설계를 특징으로하며, 매우 높은 정밀 패턴화 작업에 최적화되었습니다. 통합 수직/측면 포지셔너는 또한 스태거링 된 다각형 각도 및 x-y 변조의 정밀 노출을 가능하게하며, 겹친 패턴의 더 높은 정확도와 뛰어난 반복성을 보장합니다. 또한 NIKON NSR-1505G6E 는 자동 필드 정렬 및 점프 교정 루프 (Jump Correction Loop) 를 통해 업계 최고의 정렬 정확도를 제공하여 왜곡 오류를 정확하게 등록하고 제거할 수 있습니다. 기계의 고급 정렬 정확도 (Advanced Alignment Accuracy) 는 결함 감지 및 입자 인식에 도움이 됩니다. NSR 1505 G6E에는 고급 캐리어 및 스테이지 정렬 기능, 가변 모양의 정확하고 반복 가능한 패턴, light flare and darkening, mirror and array 기능 등 다양한 프로세스 기능이 포함되어 있습니다. 다른 기능으로는 완전 자동 연결 및 운영, 환경 제어 (예: 먼지 및 ESD 보호), 내장 청소 자산 등이 있습니다. NSR-1505G6E 웨이퍼 스테퍼는 뛰어난 성능과 정밀도를 제공하는 다재다능하고 유연한 모델입니다. 높은 정확도, 신뢰성 있는 프로세싱 기능을 갖춘 이 제품은 모든 규모의 제조업체에 필수적인 툴로서 높은 처리량 (HRP) 과 품질 (Quality Production) 을 제공합니다.
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