판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6E #9206225

NIKON NSR 1505 G6E
ID: 9206225
빈티지: 1988
Stepper 1988 vintage.
NIKON NSR 1505 G6E는 고품질의 안정적인 이미징 결과를 제공하도록 설계된 정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 고급 디자인과 강력한 멀티태스크 기능, 최신 이미징 기능을 결합한 완전 통합형 (Fully Integrated) 처리량 (High Throughput) 리소그래피 시스템입니다. 최적화된 Moving Head 설계, 고급 Optics 장치 및 매우 빠른 스캔 동작 제어 머신이 특징입니다. NIKON NSR-1505G6E 의 고해상도 (High Resolution) Optic 은 속도 및 정확성의 장점을 추가로 제공하여 정해진 타겟 정확도를 달성합니다. 최대 깊이 해상도 0.7 나노미터 (0.7 나노미터) 의 높은 초점 깊이를 제공하여 스테퍼가 설계를 웨이퍼로 정확하게 전달 할 수 있습니다. 고출력 램프 (high power lamp) 와 최적화된 광분포 (light distribution) 는 노출 선형성에 따라 향상되며, 이 도구는 저소음, 고배율 및 고강도 인체 공학적 연산자 인터페이스를 갖추고 있습니다. NSR 1505 G6E 는 매우 통합된 제어 자산 (control asset) 을 제공하여 사용자에게 프로세스 제어 및 기능의 자유를 제공합니다. 이 정교한 모델은 매우 정밀하고 반복 가능한 생산을 보장하며, 웨이퍼 시트 간의 매칭이 향상되었습니다. 고속 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 가 장착되어 있어 보다 빠른 샘플로드/언로드 및 스캔 동작이 가능합니다. 또한, 장비는 최대 30,000 개의 노출을 저장할 수있는 내부 직업 추적 시스템을 자랑합니다. NSR-1505G6E 의 빠른 변경 장치 (quick-change unit) 는 쉽게 셔터 및 펠리클 (pellicle) 을 변경할 수 있도록 하며, 기계는 또한 최적의 온도 및 습도 제어를 위해 다양한 환경 설정을 지원합니다. 상단 장착형, 2축 테이블을 통해 단계를 쉽게 액세스할 수 있으며, 반복 단계와 고속 웨이퍼 처리 시스템 (Wafer Handling System) 을 통해 더 매끄러운 웨이퍼 피드와 향상된 추적 제어 기능을 제공합니다. NIKON NSR 1505 G6E는 최고 품질의 이미징 결과를 낳을 때 탁월한 선택입니다. 고급 리소그래피 (lithography) 에 필요한 속도와 정확도를 제공합니다. 노이즈가 낮고 처리량이 높은 고급 이미징 (Advanced Imaging) 솔루션을 찾을 때 완벽한 선택입니다.
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