판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6E #9159080

NIKON NSR 1505 G6E 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 반도체 웨이퍼 표면에 복잡한 미세 기하학적 패턴을 생산하는 다재다능하고 유능한 전문 제작 장비입니다. 이 장비는 직접 이미징 리소그래피 (direct imaging lithography) 기술을 사용하여 최대 기능 크기가 0.15 미크론인 초정밀 패턴을 정확하고 빠르게 생성합니다. NIKON NSR-1505G6E는 최대 0.08 미크론 해상도로 작동 할 수 있습니다. 이 장비는 19.5nm 크기의 변조 (modulation) 를 갖춘 아스페릭 렌즈를 사용하여 이미지를 기판에 투영하고, 광학 수차를 최소화하기 위해 고급 마이크로 필드 플랫 (micro-field-flattening) 장치를 갖추고 있습니다. 이것은 이미지 형성에서 타의 추종을 불허하는 정밀도를 허용합니다. 이 시스템은 또한 혁신적인 "방진 공기 서스펜션 (anti-vibration air suspension)" 장치를 통합하여 기판에 진동의 영향을 줄입니다. 이를 통해 패턴 형성의 정확성이 향상되어 NSR 1505 G6E 가 최소한의 오류로 패턴을 생성할 수 있습니다. NSR-1505G6E는 사용하기 쉬운 시스템으로 설계되었습니다. 즉, 사용자 친화적인 작동 패널이 장착되어 있어 복잡한 프로세스를 프로그래밍할 수 있으며, 마우스를 클릭할 수 있습니다. 또한 이 도구는 자동화되어 사용자 입력이 지속적으로 필요하게 됩니다. NIKON NSR 1505 G6E에는 또한 고급 측정 및 정렬 에셋이 장착되어 있는데, 이 에셋은 스테퍼 프로세스 중 잘못된 정렬을 감지할 수 있습니다. NIKON NSR-1505G6E는 안전을 고려하여 설계되었습니다. 적외선 안전 회로 (Infrared Safety Circuit) 모델이 장착되어 있으며, 국제 직업 안전 표준의 모든 요구 사항을 충족합니다. 이 장비는 또한 경보 시스템 (alarm system) 과 간단한 기록 및 재생 기능 (recording and playback) 을 포함한 유용한 기능으로 포장되어 있습니다. NSR 1505 G6E는 인상적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼 유닛으로, 최소한의 오류로 정확하고 정확한 패턴을 만들 수 있습니다. 사용자 친화적 인 작동 패널, 고급 공기 서스펜션 시스템 (Air Suspension Machine), 자동 응답 (Automated Response) 을 통해 사용이 간편하고 유지 보수가 가능합니다. 19.5nm-order modulation aspheric lens를 사용하면 패턴이 매우 정밀하고 정확하게 형성됩니다. 이 인상적 인 도구 는 복잡 한 "패턴 '을 생산 할 수 있는 믿을 만하고 정확 한" 웨이퍼 스테퍼' 가 필요 한 사람 들 에게 적합 하다.