판매용 중고 CANON FPA 3000 EX3 #9077395

CANON FPA 3000 EX3 웨이퍼 스테퍼는 와퍼에 집적 회로를 빠르고 정확하게 생산하도록 설계된 최첨단 리소그래피 장비입니다. 고급 웨이퍼 스테이지와 결합된 고해상도 광학 이미징 시스템 (optical imaging system) 을 활용하여 다이 레벨 정밀도를 생성합니다. 이 장치에는 고급 드라이 글래스 튜브 이미징 열, 대형 12 인치 작업 공간 및 조절 가능한 스텝 및 반복 사이클 시간이 있습니다. FPA 3000 EX3에는 최대 180mm의 다양한 레티클 및 웨이퍼 크기를 지원할 수 있습니다. 스테퍼는 최고 200mm 웨이퍼를 지원하는 고급 웨이퍼 스테이지 (고급 웨이퍼 스테이지) 를 사용하여 매우 높은 정확도, 반복 가능성 및 균일성을 제공합니다. 이 단계에는 매끄럽고 정확한 위치 지정 및 스캐닝을 위해 3 개의 선형 드라이브와 1 개의 로터리 드라이브 시스템이 포함됩니다. 이 스테이지에는 고속 노출 응용 프로그램을 허용하는 조정 가능한 가속 및 감속 프로파일이 있습니다. 이미징 머신은 정확한 초점을 맞추기위한 고급 자동 공조 기술을 갖추고 있습니다. 이를 통해 CANON FPA 3000 EX3는 선폭 왜곡이 매우 적은 고해상도 이미지를 생성 할 수 있습니다. 자동 조화 도구는 다양한 초점 속도와 반복 성을 제공합니다. 이미징 자산은 고속 스캔 드라이브와 연결되어 최대 200mm/s의 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 스캔 속도를 제공합니다. 이 모델에는 수동 웨이퍼 (manual wafer) 포지셔닝의 필요성을 최소화하는 자동 레티클 정렬 기능이 포함되어 있습니다. 정렬 장비는 스테이지에서 웨이퍼를 재배치하지 않고 다양한 정렬 오프셋 (offset) 에서 여러 노출 (exposure) 을 허용합니다. 또한 오버레이 측정 및 보정을 허용하는 온보드 웨이퍼 매핑 시스템이 있습니다. FPA 3000 EX3 는 반도체 애플리케이션에 적합한 다양한 Smart 기능 및 기능을 자랑합니다. 높은 처리량, 동시 다중 패스 기능, 높은 제품 수율, 통합 결함 검사 및 맞춤형 이미지 처리 솔루션을 제공합니다. 이 장치는 LED, MEMS, RF IC 등과 같은 고급 반도체 제품을 생산하는 데 이상적입니다. 제조 환경에서 뛰어난 최종 제품 성능, 향상된 엔지니어링 기능, 완벽한 통합 기능을 제공합니다.