판매용 중고 TECHNICAL DEVICES 318 #134727

TECHNICAL DEVICES 318
ID: 134727
빈티지: 1999
In-line washing system Pre-wash / wash / rinse / final rinse / heated dryers 1999 vintage.
기술 장치 318 (TECHNICAL DEVICES 318) 은 반도체 기술의 제작에서 최고 수준의 깨끗함을 보장하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 첨단 장치 (advanced device) 는 오염 위험을 최소화하고 기판 물질에 대한 제어를 극대화하는 완벽한 선택입니다. 318은 다양한 크기의 카세트, 웨이퍼 및 마스크를 수용하는 다목적 스크러빙 장비입니다. 그것 은 한 "카세트 '에서 다른" 카세트' 로의 "웨이퍼 '전송 을 신속 히 처리 할 수 있는" 카세트' 전사 "모듈 '을 갖추고 있다. 마스크 전송 모듈은 마스크 (Mask Transfer Module) 를 한 홀더에서 다른 홀더로 이동할 수 있으므로 마스크 로드 및 언로드를 쉽게 수행하여 리퍼빙할 수 있습니다. TECHNICAL DEVICES 318의 기능은 스테인리스 스틸 구조로 시작됩니다. 주택은 강력한 부식 내성 합금으로 만들어졌으며, 이 합금 (burrosion-resistance alloy) 은 가혹한 청소 조건을 견디고 무거운 부하를 지원하는 데 도움이됩니다. 로우 프로파일 (Low Profile) 을 통해 단단한 공간에서 공간을 절약할 수 있으며, 쉽게 사용할 수 있도록 높이 조절 가능한 손잡이가 제공됩니다. 이 장치는 건조 (dry) 및 습식 (wet) 공정으로 작동하며 다양한 유형의 웨이퍼 기판을 수용 할 수있는 편리한 조절 가능한 유지 시간을 갖습니다. 스크러빙 동작은 강력한 동기 모터 (synchronous motor) 에 의해 수행되며, 이를 조정하여 최대 스크러빙 효율을 보장합니다. 스크럽 헤드 (scrub head) 는 여러 회전 속도와 0.001 ° 이내의 위치 정확도로 기판에 대한 최소 손상을 보장하도록 설계되었습니다. 또한 파편이 스크러빙 (scrubbing) 하면서 기판을 오염시키는 것을 방지하도록 설계된 내장 파편 수집 선반이 제공됩니다. 318에는 스크러빙 환경을 정확하게 제어하는 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 다이 손실 모니터 (Die-Loss Monitor) 가 내장되어 있어 다이 손실 (Die Loss) 을 정확하게 측정하고 기록할 수 있으며, 다른 클리닝 조건에서 성능을 발휘할 수 있습니다. 이 장치는 온도 조절을 수용하여 최적의 스크러빙 환경을 보장 할 수도 있습니다. 기술 장치 318 (TECHNICAL DEVICES 318) 은 반도체 기술의 제작에 사용되며, 높은 수준의 기판 청결 및 무연 기판을 보장 할 수 있습니다. 최고 수준의 스크러빙 효율을 위해 신뢰성 있는 동기식 모터 (synchronous motor) 에 의해 구동되며, 다양한 웨이퍼 기판에 대해 조절 가능한 유지 시간을 제공합니다. 이 장치는 또한 정확한 클리닝 환경에 대한 정확한 위치 정확도와 제어 장치를 제공합니다. 또한, 내구성 스테인리스 스틸 (Stainless-Steel) 합금으로 구성되며 단단한 공간에 적합한 로우 프로파일 (Low-Profile) 로 설계되었습니다. 이 첨단 스크러빙 머신 (scrubbing machine) 은 모든 반도체 생산 설비에 적합한 탁월한 정밀도와 성능을 제공합니다.
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