판매용 중고 SVG 8620 / 8636 #293625501
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SVG 8620 및 8636은 SVG Company에서 생산 한 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버 시스템입니다. 이 스크러버 시스템은 정밀하고 화학적이지 않은 스크럽 최적화 (scrub optimization) 를 제공하여 섬세한 복잡한 재료를 깨끗하고 안전하게 처리 할 수 있습니다. SVG 8620 및 8636 스크러버 시스템은 2 개의 웨이퍼 스크럽 헤드와 1 쌍의 독립적으로 구동되는 마스크 스크럽 헤드를 사용하여 웨이퍼와 마스크의 세부 제어 및 스크럽 최적화를 지원합니다. 무엇보다도 SVG 8620 및 8636 웨이퍼 & 마스크 스크러버 시스템의 가장 중요한 기능은 정밀하고 화학이없는 스크러빙 기능입니다. 이 스크러버에는 통합된 화학이없는 브러시가 특징이며, 이는 산화물, 질화물 및 PECVD 재료를 포함한 다양한 섬세한 재료를 문질러 낼 수 있습니다. 또한, 이 브러쉬는 고급 기술을 사용하여 28nm 피치까지 세밀하고 집중된 스크러빙을 허용합니다. 이 기능들은 스크러버 시스템을 웨이퍼 & 마스크 재료의 복잡한 세부 사항 (details of wafer & mask material) 을 스크러빙하는 데 이상적입니다. SVG 8620 및 8636 웨이퍼 & 마스크 스크러버 시스템의 또 다른 중요한 특징은 2 개의 웨이퍼 스크럽 헤드와 2 개의 마스크 스크럽 헤드입니다. 이 스크럽 헤드는 클리닝 주기 시간 (cleaning cycle time) 을 단축하도록 조정할 수 있으며, 독립적으로 구동하고 프로그래밍할 수도 있으며, 사용자 정의 (customization) 수준을 높일 수 있습니다. 또한, 이 스크럽 헤드는 특수 시퀀스 및 레시피로 프로그래밍 될 수 있으며, 특정 스크러빙 (scrubbing) 요구에 맞게 맞춤 될 수 있습니다. 마지막으로 SVG 8620 및 8636 웨이퍼 & 마스크 스크러버 시스템은 자동 세척, 청결 및 건조 주기를 특징으로합니다. 이를 통해 스크러버 (scrubber) 는 최소한의 수동 입력, 시간 절약, 처리량 증가로 재료를 청소, 건조, 렌즈합니다. 또한, 스크러버 시스템은 회전 하중 암 (rotating load down arm) 을 특징으로하여보다 균등하고 완전한 청소를 허용합니다. 결론적으로 SVG 8620 및 SVG 8636 웨이퍼 & 마스크 스크러버 시스템은 정밀 화학이없는 스크러빙을 위해 설계된 고급 시스템입니다. 이 스크러버 시스템에는 28nm 피치를 자랑하는 통합 화학 용 브러시와 2 개의 웨이퍼 스크럽 헤드 및 2 개의 마스크 스크럽 헤드가 있습니다. 또한, 스크러버 시스템은 자동 세척, 청결 및 건조 주기와 더불어 회전 하중 (rotating load down arm) 을 사용하여 보다 균등하고 완전하게 청소합니다.
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