판매용 중고 IPI SBW-SA #9185716

IPI SBW-SA는 반도체 웨이퍼 및 기타 기판을 재확보하고 오염을 제거하도록 설계된 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 섬세한 재료를 청소하는 이중 단계 프로세스와 보다 효율적인 클리닝을 위해 고유한 맞춤형 노즐 (Nozzle) 이 특징입니다. 기계는 사전 스크러빙 (pre-scrubbing) 프로세스를 사용하여 웨이퍼 또는 마스크에서 오염 된 먼지, 오일 및 이물질을 풀고 제거합니다. 이 작업을 수행하기 위해 SBW-SA 는 최대 2 개의 개별 클리닝 솔루션으로 일련의 Envelope 사이클을 수행합니다. 사전 스크러빙 후, 기계는 물리적 및 화학적 청소 공정으로 스크러빙의 2 단계로 진행됩니다. 주기는 고압 초음파 스크러빙 (scrubbing) 으로 시작하여 미립자를 제거 한 다음 진공 또는 강제 질소 건조로 시작합니다. IPI SBW-SA의 물리적 청소 과정에는 고급 로봇 공학이 포함됩니다. 최첨단 진동 노즐 (State-of-art oscillating nozzles) 은 웨이퍼 또는 마스크의 전체 표면에 균일 한 클리닝 패턴을 전달하여 부식이 발생하지 않도록 합니다. 또한, 청소 하는 재료 에 따라 압력 과 온도 를 조정 하고, 사용자 정의 할 수 있다. SBW-SA가 사용하는 맞춤형 노즐은 특히 주목할 만하다. 주기 단계에서 산소 및 질소의 방향 돌진 (directional rushes of oxygen and nitrogen) 을 사용함으로써, 산소 분자를 펌핑하여 오염 물질을 산화시키는 반면, 질소 분자는 산화 조건을 수정하기 위해 펌핑된다. 이것은 산화 또는 부식 전위가 제거되므로, 청소 효과를 반전시킨다. 웨이퍼 및 마스크 스크러빙의 리더로 간주되는 IPI SBW-SA는 반도체 업계에서 마스크 (mask) 뿐만 아니라 유전체 기판을 재확보 및 오염 제거 수단으로 잘 신뢰됩니다. 이 기계는 이중 단계 사전/사후 스크러빙 프로세스 (pre-and post-scrubbing process) 와 고급 로봇 공학과 효율적인 맞춤형 노즐 (nozzle) 을 사용하여 섬세한 재료를 청소하기위한 안정적이고 효과적인 시스템입니다.