판매용 중고 DMS M208 #9399896

DMS M208
ID: 9399896
빈티지: 2011
Foup cleaners 2011 vintage.
DMS M208 Wafer & Mask Scrubber는 반도체 웨이퍼 제조 시설에서 웨이퍼와 마스크를 청소하도록 설계된 장치입니다. 그것 은 "마스크 '와" 웨이퍼' 표면 에서 먼지, 흙, 기타 오염 물질 을 제거 하고 안전 하고 효율적 이고 자동화 된 방법 으로 청소 하도록 설계 되었다. 스크러버에는 인체 공학적, 모듈식 디자인이 있으며, 사용자 친화적 인 인터페이스와 간단한 작동이 가능합니다. 여러 웨이퍼 크기와 최대 200mm 크기를 포함한 마스크를 수용 할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 액체 거품 세척, 표면 스크러빙 및 최종 플러시 린스를 포함하는 고급, 특허를받은 3 단계 청소 프로세스를 특징으로합니다. 각 단계 는 "웨이퍼 '와" 마스크' 표면 에서 입자, 입자 조각, 파편, 기타 오염 물질 들 을 제거 하여 깨끗 하고 온전 한 제품 을 보장 하도록 설계 되었다. 액체 거품 세척 단계 (liquid bubble wash stage) 는 웨이퍼와 마스크의 표면에서 느슨한 입자와 표면 오염 물질을 제거하도록 설계되었습니다. 이 자동화 단계는 질소 거품과 결합 된 저압, 세제 기반 액체 솔루션을 사용하여 부드럽고 효과적인 청소 공정을 만듭니다. 스크러빙 스테이지는 수동 (manual) 또는 자동 (automated) 형식의 소프트 스크럽 패드 (soft scrub pad) 를 사용하여 웨이퍼와 마스크의 표면을 부드럽게 스크러빙하여 표면을 마킹하지 않고 오염 물질을 제거합니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 마스크 및 웨이퍼 표면에 올바른 스크러빙 동작을 보장하기 위해 조절 가능한 경도 및 경사 제어 도구를 갖추고 있습니다. 마지막으로, 플러시 린스 (flush rinse) 단계는 저압 설정에서 적용되는 물과 질소 거품을 사용하여 웨이퍼 및 마스크에서 잔류 잔류 물, 먼지 및 잔해를 모두 제거합니다. M208 Wafer & Mask Scrubber는 Wafer 및 마스크를 청소하기 위한 안전하고 효율적이며 자동화된 장치입니다. 인체 공학적, 모듈식 디자인, 사용자 친화적 인 인터페이스, 간단한 작동을 통해 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 생산 시설을 위한 이상적인 클리닝 솔루션이 됩니다. 특허를 획득한 첨단 3 단계 클리닝 프로세스는 안전하고, 깨끗하고, 손상되지 않은 제품을 보장하며, 최적의 클리닝을 위한 조절 가능한 경도 및 경사 제어 도구를 제공합니다. DMS M208 Wafer & Mask Scrubber는 웨이퍼 및 마스크를 효율적이고 효과적으로 청소하는 이상적인 장치입니다.
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