판매용 중고 DISCO DCS 141 #9361627

ID: 9361627
웨이퍼 크기: 8"
Wafer cleaning system, 8" Clean and dry with CDA blow High pressure pump.
DISCO DCS 141은 최고의 청소 결과를 제공하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. "와퍼 '와" 마스크' 에서 먼지 와 기타 오염 물질 들 을 효과적 으로 제거 하기 위하여 "블래스트 클리닝 '과" 브러쉬 클리닝' 기술 을 사용 하여 강력 한 진공 "시스템 '을 갖추고 있다. 이 시스템에는 12 인치 웨이퍼/마스크 홀더와 가변 속도 스크러빙 암 (scrubbing arm) 이 장착되어 있어 단면 및 양면 청소에 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (Wafer and Mask Scrubber) 는 고효율 클리닝 결과를 달성할 수 있으며, 단 몇 초 안에 광범위한 잔기와 크기가 제거됩니다. DISCO DCS141 (DISCO DCS141) 은 자동화된 스크러빙 주기를 통해 다양한 속도와 시간을 설정할 수 있는 완벽한 클리닝 (cleaning) 을 제공하도록 설계되었으며, 사용자가 각기 다른 재료 및 오염 물질에 대해 클리닝 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 자동 브러쉬 감지 기능 (automatic brush detection feature) 이 포함되어 있어 특정 작업의 브러쉬 유형을 정확하게 감지합니다. 또한 "웨이퍼 '와" 마스크 스크러버' 에는 "프로그램 '할 수 있는 경보 가 선택 되어 있는데, 이것 은" 브러쉬' 를 청소 하거나 대치 할 때 에 연산자 들 에게 경고 를 준다. 스크러버 (scrubber) 는 안전성을 염두에 두고 설계되었으며, 인터 록 (interlock) 이 활성화되면 작동을 멈추는 인터 록이 특징입니다. 뿐 만 아니라, 이 장치 에는 균형 잡힌 공기 "콘센트 '가 장착 되어 있어, 효과적 인 먼지 제거 를 위해 전체" 웨이퍼' 와 "마스크 '표면 위 에 짝수 의 공기 흐름 을 보장 해 준다. 스크러버 (scrubber) 의 디자인은 또한 조정 가능한 공기 공급 밸브를 특징으로하여 다른 응용 프로그램에 대한 최적의 공기 흐름 속도를 허용합니다. 최고 품질의 결과만 확보하기 위해 DCS 141 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 에는 클리닝 프로세스에 대한 자세한 정보를 표시하는 사용자에게 친숙한 LCD 제어판이 장착되어 있습니다. 추가 보안 기능으로서, 이 장치는 전원이 꺼지면 스크러버에서 모든 잔류 압력을 자동으로 방출하는 안전 밸브 (Safety Valve) 를 갖추고 있습니다. DCS141 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (Mask Scrubber) 는 먼지 및 오염 물질 제거를위한 안정적이고 효율적인 솔루션입니다. 강력한 진공 기반 시스템, 다양한 스크러빙 속도, 사용하기 쉬운 컨트롤 패널 (Control Panel) 은이 스크러버를 웨이퍼 및 마스크 클리닝 시설에 필수품으로 만듭니다.
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