판매용 중고 DISCO DCS 141 #9302502

DISCO DCS 141은 마이크로 일렉트로닉스 산업의 가장 높은 요구 사항을 충족하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 우수 한 결과 로 "웨이퍼 '와" 마스크' 기판 을 다 긁을 수 있다. DISCO DCS141은 최대 450mm 크기의 웨이퍼 (wafer) 와 최대 610mm 크기의 마스크 (mask) 를 수용 할 수있는 고급 설계를 포함합니다. 이러한 유연성을 통해 스크러버를 다양한 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. DCS 141은 2 단계 스크러빙 프로세스를 사용합니다. 먼저, 웨이퍼는 연마 입자와 임베디드 유기 잔기를 제거하기 위해 H2O2 사전 청소를 받는다. 그 후, 초음파 파동 동요 기술 (Ultrasonic Wave-Cavity Aditation Technology) 을 사용하여 뛰어난 습식 성능을 제공하는 개선 된 클리닝 솔루션을 기반으로하는 세탁주기가 뒤 따릅니다. 최적화된 솔루션은 표면 손상을 최소화하면서 웨이퍼 표면 청결도 (wafer surface cleanliness) 를 높이기 위해 특별히 공식화됩니다. 또한 DCS141 에는 각 기판 크기 및 유형에 대한 최적의 처리 매개변수를 자동으로 계산하는 고급 스크러버 제어 시스템 (Advanced Scrubber Control System) 이 있습니다. 이 시스템은 스크러빙 결과를 최적으로 보장하며, 스크러빙 (over-scrubbing) 또는 클리닝 불충분으로 인한 손상을 방지합니다. DISCO DCS 141 의 견고한 구성과 밀폐된 프로세스 챔버 (process chamber) 는 먼지가 없는 환경을 제공하므로 유지 보수 및 서비스가 빈번하게 이루어질 필요가 없습니다. 이 기계는 또한 클리닝 솔루션 (cleaning solutions) 의 흐름을 자동으로 제어하고 물 필터링 시스템 (water-filtering system) 을 사용하여 일시 중단된 입자를 제거함으로써 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. 디스코 DCS141 (DISCO DCS141) 은 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 기판을 긁는 데 이상적인 도구이며 현대 마이크로일렉트로닉스 산업의 요구에 적합한 안정적이고 경제적인 솔루션을 제공합니다. 고급 디자인 (Advanced Design) 과 우수한 결과를 통해 생산 라인을 위해 자동 스크러버 (Scruber) 를 찾는 모든 사람에게 완벽한 선택이 가능합니다.