판매용 중고 DISCO DCS 141 #9148551

DISCO DCS 141
ID: 9148551
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Wafer cleaning system, 8" 2001 vintage.
DISCO DCS 141은 DISCO Corporation의 고성능 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 반도체 제작 과정에서 포토 마스크, 웨이퍼 표면 및 기타 단단한 표면을 청소하는 데 사용됩니다. 이 기계는 깨끗한 액체 제트, 브러시 및 드라이 스프레이 장비를 사용하여 공정 잔류 물, 공수 미립자 및 얇은 필름 (photoresist) 을 제거합니다. DISCO DCS141은 고압 액체를 사용하여 웨이퍼 및/또는 포토 마스크 표면을 긁습니다. 그 다음 에 이 액체 를 진공 "시스템 '으로 제거 한 다음, 뜨거운 공기 건조기 를 사용 하여 표면 을 말린다. 이 과정을 "뜨거운 공기 스크러빙" 이라고합니다. 이것 은 매우 높은 "레벨 '의 청결 을 허용 하며, 다음 과정 에 앞서 입자 나 유기" 잔류' 를 지표 에 남기지 않도록 한다. 기계에는 청소된 표면을 검사하기 위해 통합 카메라 장치 (camera unit) 가 있습니다. 이렇게 하면 서피스가 필요한 표준 (required standard) 에 맞게 클리닝되었으며 결함 (defects) 이나 잔류 (residue) 가 남아 있지 않습니다. 이 검사 기술은 최고 수준이며, 높은 수준의 청결 함을 보장합니다. 기계는 완전히 자동화되어, 사용할 때마다 일관된 결과를 제공합니다. 커스터마이징 (customization) 기능을 통해 사용자는 다양한 작업에 대한 설정을 사용자 정의할 수 있고, 클리닝되는 여러 제품에 대한 매개변수를 지정할 수 있습니다. 또한 DCS 141 은 사용 및 유지 보수가 용이하도록 설계되었으며, 반도체 제작 설비에 적합합니다. VSPC 는 RoHS 규정을 준수하며 VSPC 의 인증을 받았으며, VSPC 의 사용으로 인해 환경 또는 안전 위험이 발생하지 않습니다. 전반적으로 DCS141은 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 높은 수준의 성능, 깨끗함, 사용자 정의, 신뢰성을 제공합니다. 그것 은 어떤 종류 의 단단한 표면 을 깨끗 이 하는 안전 하고 능률적 인 방법 을 제공 하며, 정밀 하고 높은 수준 의 청결 을 가장 중요 하게 여기는 시설 들 에 이상적 이다. "깨어라!" ("
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