판매용 중고 NOVELLUS Avanti 472 #9225535

ID: 9225535
빈티지: 1998
CMP Polisher 1998 vintage.
NOVELLUS Avanti 472 Wafer Grinding, Lapping & Polishing 시스템은 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. Grinder and Polisher.NOVELLUS AVANT I472 Grinder는 생산성 향상을 위해 설계된 완전 자동화 된 대용량 정밀 분광기입니다. 이 제품은 GaAs, Si 등 가장 까다로운 리소그래피 기판을 연삭, 랩핑, 연마하기 위해 설계되었으며, 프로세스 반복성이 뛰어납니다. 그라인더 (Grinder) 에는 6 개의 고류 전달 노즐 및 자동 제어 시스템이 장착되어 있어 연삭, 랩핑 및 연마 속도 및 압력을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 왜곡 (wafer distortion) 과 표본 처리를 가능하게하는 독특한 공정 챔버 (process chamber) 가 특징이며, 운영자와 전자 제품에 안전한 환경을 제공합니다. 아반티 472 폴리셔 (Avanti 472 Polisher) 는 연마 브러시 및 연마제 디스크를 사용하여 가장 어려운 기판에 대해 지속적으로 높은 수준의 연마 성능에 도달하는 고속 벤치 탑 폴리셔입니다. 브러쉬는 남은 모든 표면 천공을 제거하여 완벽하게 평평하고, 랩핑되고, 연마 된 표면을 만듭니다. 폴리셔 (Polisher) 에는 반복 가능한 결과를 보장하는 공정 제어 시스템 (Process Control System) 이 장착되어 있으며, 정확한 압력 및 속도 제어가 가능하며, 기판 적재 및 언로드를위한 고유 한 공정 챔버가 제공됩니다. 결론적으로, AVANT I472는 신뢰할 수 있고 매우 정밀한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템으로, 다양한 응용 분야에서 사용할 수 있습니다. 그라인더 (Grinder) 와 폴리셔 (Polisher) 는 각각 자동 제어 시스템을 갖추고 있어 프로세스 반복성과 높은 수준의 생산성을 제공합니다. 6 개의 높은 흐름 전달 노즐과 독특한 공정 챔버를 갖춘 NOVELLUS Avanti 472는 완벽하게 평평하고, 랩핑 및 광택 표면을 달성하기위한 이상적인 솔루션입니다.
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