판매용 중고 EBARA Frex 300S #9396291

EBARA Frex 300S
ID: 9396291
웨이퍼 크기: 12"
CMP System, 12".
EBARA Frex 300S 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비는 현장에서 가장 진보 된 것 중 하나입니다. 독특한 디자인은 마이크로 프로세서 제어 서보 모터 (servomotor-driven) 베이스를 통합하여 전체 공구 (tooling) 범위에서 동적으로 안정적으로 연마하여 매우 정확하고 생산적입니다. 이 시스템은 또한 전자 조절 테이블 (electronically adjustable table) 을 갖추고 있으며, 거칠고 미세한 연삭 및 연마 공정 모두에서 재료 제거 속도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이는 매우 얇은 재료에서도 우수한 결과를 보장합니다. 이 장치에는 균일 한 웨이퍼 그라인딩 및 랩핑 용 고정밀 스핀들 (spindle) 이 장착되어 있으며, 고속 및 저진동에서 작동하도록 설계되었습니다. 이 드라이브 머신은 스텝리스 속도 제어 (stepless speed control) 를 위해 맞춤형 로터리 스테이지 모터로 구동됩니다. 이 툴은 또한 생산성 증대와 더욱 정확한 프로세스 제어를 위한 자동 인덱싱 (automatic indexing) 메커니즘을 통합합니다. 또한, 스핀들 리콘디션 (spindle recondition) 옵션이 내장되어 있어 그라인딩 및 랩핑 헤드의 수명을 연장하여 설치 및 복구 속도를 높일 수 있습니다. EBARA FREX300S 자산에는 강력하고 효율적인 입자 제거 모델도 장착되어 있습니다. 이 기능은 연삭 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 작업 중에 생성된 과도한 입자를 제거하도록 설계되었으며, 이는 제품 오염 및 제품 포함으로 이어질 수 있습니다. 장비는 기계에서 먼지, 입자 및 기타 재료를 추출하기위한 특별한 배기 흡입 배열을 사용합니다. 이러 한 마련 은 또한 기계 를 깨끗 이 작동 시키고, 외부 "소오스 '로부터 오염 되지 않게 하는 데 도움 이 된다. 마지막으로, F-REX300S 시스템은 견고하고 신뢰할 수있는 작업마이며, 석영, 실리콘, 질화물 등을 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 그것 은 손쉽게 유지 할 수 있도록 설계 되었으며, 튼튼 한 구조 는 가장 힘든 일 을 할 수 있도록 보장 해 준다. "깨어라!" ( 전체적으로 FREX-300S는 고급 디자인, 강력한 성능, 내구성 있는 구성 덕분에 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 프로세스를위한 탁월한 선택입니다.
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