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ID: 293636556
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
CMP System, 12"
Wafer station
(3) Handling robots
(2) Polishing units
(2) Linear transporters
(3) Filters
Base material: Silicon
Diameter: 300 ± 0.2 mm
2004 vintage.
EBARA Frex 300 Wafer Grinding, Lapping & Polishing 시스템은 반도체 웨이퍼의 정밀 연삭, 랩 및 연마가 가능한 고급 기능을 갖춘 자동화되고 다용도 플랫폼입니다. EBARA FREX-300은 유연성과 빠른 처리 시간 (turnaround time) 을 제공하며 최고 수준의 웨이퍼 표면 품질을 제공합니다. F-REX300의 중심에는 고속, 높은 정확도 스핀들 및 기본 장치가 있습니다. 내장형 고해상도 CCD 카메라는 스핀들 위치 및 표면 품질을 정확하게 제어합니다. 모터 구동 스핀들은 1,000 ~ 6,000 RPM의 프로그래밍 가능한 속도를 가지며, 이는 연산자가 전체 연삭 및 랩핑 사이클 전체에서 부드럽고 정확한 조정을 할 수 있도록 해줍니다. 또한 스핀들 (spindle) 은 연삭, 랩핑 및 연마를위한 다양한 표준 공구를 제공하며, 사용자 정의 응용 프로그램용으로 구성할 수도 있습니다. EBARA F-REX300 의 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 은 그라인딩 및 랩핑 프로세스와 관련된 모든 매개변수를 추적하고 기록합니다. 따라서 사용자는 프로세스 중에 발생한 오류 지점 또는 데이터 지점을 검토할 수 있습니다. 이렇게 하면, 매번, 매번, 수작업 없이 동일한 결과를 얻을 수 있습니다. 프로세스 최적화는 FREX-300의 혁신적인 기계적 정당화 구성 요소 (Mechano-Justiable Components) 를 통해 활성화되며, 이를 통해 운영자는 기계의 프로세스 매개변수를 더욱 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 F-REX 300은 CMP (chemical mechanical planarization) 와 같은 다양한 단계의 연마 과정을 수용하도록 설계되었습니다. 이렇게 하면, 연마 과정 의 각 단계 가 매번 일관성 있는 결과 로 이루어지게 됩니다. EBARA F-REX 300은 75mm-200mm 이상의 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며, 처리 면적은 400x250mm입니다. 설치 공간이 작아 설치 공간 요구 사항이 크게 줄어듭니다. 이러한 기능은 모두 결합하여 Frex 300을 정밀 웨이퍼 장치의 고수율 생산에 이상적인 솔루션으로 만듭니다.
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