판매용 중고 EBARA Frex 300 #293597723

ID: 293597723
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
CMP System, 12" 2004 vintage.
EBARA Frex 300은 뛰어난 성능과 신뢰성을 제공하는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. EBARA FREX-300은 3 단계 프로세스를 사용하여 기판에 대한 최소한의 손상으로 가장 높은 수준의 표면 매끄러움을 달성합니다. 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 과정의 첫 번째 단계는 연삭입니다. 여기 에는 "휠 '을 사용 하여" 웨이퍼' 표면 을 원하는 크기 와 모양 으로 아래로 갈아 놓는 것 이 포함 된다. 두 번째 단계는 랩핑 (lapping) 으로, 연마식 슬러리를 사용하여 연삭 과정 후 잔류 불완전성을 평평하게하고 부드럽게 만듭니다. 마지막 단계 는 연마 (polishing) 인데, 이것 은 더욱 훌륭 한 평평 과 표면 마무리 를 제공 한다. F-REX300 은 다양한 애플리케이션을 수용할 수 있도록 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 그것 은 여러 가지 "휠 '직경 과 연마 크기 와 함께 사용 되어 정밀도 와 정확도 를 제공 할 수 있다. 조절 가능한 연삭 깊이 (grinding depth) 및 접촉 압력 (contact pressure) 을 통해 원하는 표면 마무리가 일관되고 최소한의 웨이퍼 손상으로 달성됩니다. 이 시스템에는 프로그램 가능한 제어판, 휠 속도 (wheel speed) 및 방향 제어 (direction control), 다양한 안전 차단 시스템 (safety shoff system) 을 포함한 다양한 컨트롤이 포함되어 있어 가공소재에 손상이 발생하지 않습니다. 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족하도록 Frex 300을 맞춤형으로 구성할 수도 있습니다. 고성능 FREX-300은 미세 및 거친 표면을 모두 생성 할 수 있습니다. 반도체, 태양열 기술, 웨이퍼 라이닝, 웨이퍼 그라인딩에 이상적이다. 탁월한 성능으로 EBARA F-REX 300은 모든 유형의 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업을 쉽게 처리 할 수 있습니다.
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