판매용 중고 ACRA RS 618 #79387

ACRA RS 618은 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 반도체 웨이퍼를 갓 얇게 썬 웨이퍼에서 중요한 고급 패턴 요구 사항까지 미세하게 처리 및 폴란드화하는 데 사용됩니다. 이 기계는 뛰어난 정확도 및 표면 마무리를 위해 스핀들 (spindle) 디자인의 상단을 사용하며, 단면 및 양면 처리를 지원하며, 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 지원할 수 있습니다. RS 618 의 핵심은 연삭 (grinding) 과 연마 (polishing) 메커니즘으로, 정밀 성능을 보장하도록 설계되었습니다. 이것은 고속 브러시리스 DC 모터로 구동되는 다이아몬드 드레스 스핀들을 사용하며, 최대 5000 RPM의 가변 속도로 작동합니다. 스핀들은 다양한 직경과 응용 프로그램 요구 사항에 맞게 교환 가능한 플랫, 로터리 및 컵 휠을 지원합니다. 이 시스템에는 로봇 로딩 (robotic loading) 및 언로드 (unloading) 기능도 포함되어 있어 효율적이고 자동화된 웨이퍼 처리가 가능합니다. ACRA RS 618의 웨이퍼 처리 기능은 플랫 웨이퍼와 그라운드 웨이퍼를 모두 처리 할 수 있으며 Si, Ge 및 Gallium-nitride (GaN) 와 같은 다양한 재료를 지원할 수 있습니다. 로보틱스 (robotics) 의 로딩 및 언로딩은 웨이퍼를 정확하고 빠르게 배치하는 정밀 개방형 루프 스테퍼 모터 드라이브로 구동됩니다. 보다 효율적으로 제어할 수 있도록 RS 618에는 모든 자동/수동 제어 기능이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 매개변수를 실시간으로 면밀히 모니터링하고 튜닝할 수 있고, 웨이퍼 간에 쉽고 빠른 변경 (changeover) 을 쉽게 수행할 수 있습니다. 또한 강력하고 직관적인 터치 스크린 HMI (touchscreen HMI) 를 통해 모든 연삭, 연마 및 로봇 연산을 사용자 친화적 인 프로그래밍을 제공합니다. ACRA RS 618 은 매우 효율적이며, 수작업 처리 (manual processing) 보다 훨씬 뛰어난 성능을 제공하며, 모든 주요 글로벌 안전 규정을 염두에 두고 설계 및 구축되었습니다. 자동화된 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 를 위한 강력하고 신뢰할 수있는 기계로, 최고 웨이퍼 품질 수준에서 보장되고 반복 가능한 결과를 제공합니다.