판매용 중고 UNAXIS / BALZERS LLS 502 #9217569

UNAXIS/BALZERS LLS 502는 태양광, 광학 및 기타 기판을위한 박막 기술 애플리케이션을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 유연한 UNAXIS LLS 502는 높은 증착율, 우수한 균일 성, 균일 한 필름 접착력, 빠른 난방, 냉각 및 최적의 프로세스 제어를 위한 짧은 주기 시간을 특징으로합니다. BALZERS LLS 502는 다양한 박막의 균일 한 증착에 이상적입니다. 저압 마그네트론 스퍼터링 음극과 함께 제공되며, 하나의 스퍼터링 시스템에서 유전체, 금속 및 기타 박막 (thin film) 의 증착에 적합합니다. 스퍼터 전원은 0 ~ 500 와트에서 조절 가능하므로 필요한 두께를 빠르고 효율적으로 달성할 수 있습니다. LLS 502에 특징 인 챔버는 최대 8 개의 기판 홀더에 사용할 수 있으며, 자동화된 단계별 프로세스를 지원하는 프로그램과 함께 사용할 수 있습니다. 또한 고진공 펌핑 장치와 전극 타입 샘플 조작기 (sample manipulator) 가 특징이며, 우수한 접착제가없는 환경을 제공합니다. UNAXIS/BALZERS LLS 502는 샘플 바이어스 옵션, 천공 챔버, 백필 가스 챔버 및 베이크 아웃 옵션과 같은 추가 기능으로 업그레이드 할 수 있습니다. 이러한 구성 요소를 기존 시스템에 쉽게 통합하여 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있습니다. UNAXIS LLS 502는 또한 안정적인 안전 도구와 정확한 운영 제어를 갖추고 있어 사용자 친화적입니다. 모든 매개변수는 설정하기 쉽고, 컴퓨터로 시뮬레이션된 3D 뷰는 스퍼터링 프로세스 조건을 실시간으로 모니터링하여 균일하고 오염이 없는 필름 (film) 을 보장합니다. 결론적으로 BALZERS LLS 502는 다양한 응용 분야에 이상적인 고급 다목적 스퍼터링 자산입니다. 높은 증착율, 우수한 균일성, 빠른 난방 및 냉각 시간으로 인해 박막 생산 및 연구에 이상적인 도구가되었습니다.