판매용 중고 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9390643

ULVAC Ceraus ZX-1000은 정밀 필름 증착이 필요한 반도체 산업 응용 분야에 이상적인 스퍼터 증착 장비입니다. 이 시스템은 ULVAC (Fully Automated, Central-Vacuum Style Processing) 를 사용하여 최고의 정확도로 모든 유형의 표면에 균일하고 박막 코팅을 생성합니다. 이 단위는 금속, 금속 산화물, 질화물, 탄소 재료 등 다양한 스퍼터링 물질과 호환됩니다. 자가 생성, 폐쇄 루프 제어 메커니즘과 함께 중앙 진공 기계 (central-vacuum machine) 는 깨끗한 운영 환경을 만들어 외부 소스에서 오염되지 않도록 도와줍니다. ULVAC CERAUS ZX 1000은 각 대상 재료에 대한 소스 어셈블리를 특징으로하여 유연한 증착 기술을 제공합니다. 여기에는 단일/이중 음극 구성 및 방향성 스퍼터링 (sputtering) 을 사용하는 기능이 포함됩니다. 이 도구는 또한 활성 자기장을 특징으로하며, 높은 정확도 증착, 저온 처리로 선형 이온 플럭스 타겟팅을 달성 할 수 있습니다. 또한, 평면 및 열 구성에서 균일 한 증착을 허용합니다. Ceraus ZX-1000은 필름 성장 기술을 사용하여 레이어 두께와 필름 구성을 정확하게 제어합니다. 이 에셋은 일련의 웨이퍼 회전 단계 (wafer rotation stage) 를 사용하여 기판의 모든 면에서 균일 한 증착을 달성하며, 서피스 특성의 원하지 않는 변화를 피합니다. 또한, 필름 특성을 미세하게 튜닝하기 위해 다단 온도 제어를 사용할 수 있습니다. 이 챔버에는 최적의 펌핑 기능을위한 8 포켓 카세트 터보 펌프 모델과 정전기 방지를위한 레이든 자르 (Leyden Jar) 회로가 있습니다. 마지막으로, CERAUS ZX 1000에는 안전 모니터 디스플레이, 연동 도어 등 다양한 안전 기능이 내장되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 유해 프로세스에 대한 우발적 노출이 없도록 보호할 수 있습니다. 또한 자동 로드 (loading) 및 언로드 (unloading) 메커니즘을 갖춘 이 장비는 운영자 없이 24 시간 작동이 가능합니다. 이를 통해 연속적이고 효율성이 높은 생산 프로세스가 보장됩니다. 전반적으로 ULVAC Ceraus ZX-1000은 반도체 산업 응용 분야에 이상적인 스퍼터링 시스템입니다. 최첨단 기술과 사용자 정의 가능한 기능으로, 빠르고 안전하게 결과를 얻을 수 있습니다.