판매용 중고 HABOR HWT-250 / PSA-15 #293666753

HABOR HWT-250/PSA-15 스퍼터링 장비는 기판에 박막 증착을 위해 설계되었습니다. 반도체 소자 제작, 웨이퍼 레벨 포장, 표면 수정, 다양한 연구 개발 프로젝트 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 이 시스템은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되고 전원 공급 장치, 로터리 스테이지 (rotary stage) 및 컨트롤 패널과 함께 펌핑 장치를 포함하는 메인 챔버로 구성됩니다. 진공은 황삭 펌프 (roughing pump) 와 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 의 조합으로 생성되며, 최대 10mbar의 진공을 제공합니다. 증착 과정은 마그네트론 rf 스퍼터링 소스에 의해 실현됩니다. 대상 재료 는 원하는 온도 로 가열 된 다음, 기판 으로 스퍼터링 된다. 각기 다른 재료 에 맞게 조정 할 수 있는 전원 공급 장치 (power supply) 를 통해 표적 (target) 재료의 온도를 조절할 수 있습니다. 전원 공급 장치는 주파수 (Frequency) 및 전원 출력 측면에서 조정할 수 있습니다. 이것은 다른 박막을 증착 할 때 정밀 제어를 허용합니다. 제어판은 사용자 친화적이며, 자동화된 증착과 여러 레시피를 저장할 수 있습니다. 또한, 회전 단계를 사용하여 단일 기판에 다중 층 필름을 생성 할 수 있습니다. 증착의 균일성은 필름의 구성을 측정하는 OES 검출기를 사용하여 모니터링됩니다. 이 기계는 신뢰할 수있는 필름 증착을 보장하는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 부하가 많은 동안 적절한 작동을 보장하기 위해 공구 냉각 에셋이 있습니다. 빠른 로드 잠금을 통해 기판 전송 시간이 빠릅니다. 공기 베어링 (Air Bearing) 모델은 기판의 균일 한 회전을 보장하고 부드러운 작동을 보장합니다. 또한, 이 장비는 건축 자재에 대한 추적 가능성을 제공하며, 10 억 부문을 통해 환경 관리를 제공합니다. 이는 제품의 깨끗한 증착 과정과 균일성을 보장합니다. 시스템이 사용자에게 열려 있으므로, 필요할 때 수동 프로세스를 수행할 수 있습니다. 여기에는 수동으로 전원을 조정하거나, 필름 성장을 모니터링하거나, 증착 시간을 정확하게 제어하는 등의 작업이 포함됩니다. 이 장치는 또한 문제 해결에 사용할 수있는 다양한 진단 (예: 표면 오염 및 산화 테스트) 을 제공합니다. HWT-250/PSA-15 스퍼터링 머신 (Sputtering Machine) 은 균일성과 정확성을 갖춘 박막 증착을위한 신뢰할 수 있고, 사용자 친화적이며, 강력한 도구입니다. 수많은 응용 프로그램을위한 다양한 박막 (thin film) 을 생성 할 수 있습니다. 이 도구는 박막의 고정밀 증착에 필요한 모든 기능을 갖추고 있습니다.