판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9400991
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000은 반도체 업계에서 사용하도록 특별히 설계된 불연속 작동 일괄 원자로입니다. 그것은 진공 증착, 에칭 및 화학 증착 (CVD) 과 같은 초저하 결함 응용에 대한 극한의 온도, 진공 및 압력을 허용하는 티타늄 클래드 챔버를 특징으로합니다. AMAT P-5000의 최소 챔버 온도는 -100 ° C, 최대 챔버 온도는 6100 ° C, 최대 작동 압력은 7.5 대기입니다. 또한 수동 폐쇄 메커니즘이있는 가스 타이트 덮개 (gas tight lid) 와 챔버 내부의 환경을 최대한 제어하기위한 O 링 (O-ring) 물개가 있습니다. APPLIED MATERIALS P 5000은 반응 챔버 외에도 플라즈마 발전기 (Plasma Generator) 와 약실에 펌핑 된 가스의 압력, 온도 및 유량을 제어하기위한 수많은 입구 및 배기 포트를 갖추고 있습니다. "플라즈마 '발전기 의 전력 은 100 내지 1000" 와트' 에 달하며, 최대 60MHz 의 주파수 에서 작동 할 수 있다. 이 시스템은 인체 공학적으로 효율적으로 작동하도록 만들어졌습니다. 원자로 하드웨어에 통합된 안전 (Safety) 기능이 구현되어 빠른 시동 및 보호 (Protected Shutdown) 가 가능합니다. 대화형 터치스크린 사용자 인터페이스 (Interactive Touchscreen User Interface) 는 품질 관리 (Quality Control) 에 사용할 수 있는 포괄적인 데이터 획득, 분석 및 보고 도구를 제공합니다. 전반적으로, AMAT P 5000은 정확한 온도, 압력 및 플라즈마 변조를 통해 훌륭한 공정 제어를 제공하는 안정적이고 고급 원자로 시스템입니다. 이 제품은 즉시 사용할 수 있으며, 즉시 하이엔드 요구 사항을 충족할 수 있습니다. AMAT P5000 은 손쉬운 기능, 견고한 구축을 통해 반도체 업계의 고급 어플리케이션을 위한 최상의 선택입니다.
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