판매용 중고 MATTSON 2900 #9142605

MATTSON 2900
ID: 9142605
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2003
Rapid Thermal Annealing (RTA), 6" 2003 vintage.
MATTSON 2900 Rapid Thermal Processor는 반도체 장치 제작 및 어닐링 프로세스를위한 고급 도구입니다. 이 첨단 기계는 빠른 온도 변화와 정확한 온도 조절이 가능합니다. 공정 엔지니어 (Process Engineer) 가 어닐링 프로세스를 쉽게 최적화할 수 있게 해주는 고급, 컴퓨터 진단 (Computerized Diagnostics) 기능이 있습니다. 즉, 사용자가 장치를 빠르고, 빠르게 클램프 (Clamp) 하고, 가열하고, 냉각시키고, 통풍할 수 있도록 합니다. 2900은 고급 스테인레스 스틸로 만들어져 장수와 견고성을 보장합니다. 열 처리 장비에는 고유한 저류 (low flow) 전달 장비가 장착되어 있어 정확한 열 결과를 보장합니다. 납품 시스템은 또한 저전압 사용자 선택 가능 (low voltage user selectable) 배송 기능과 광범위한 작동 온도를 포함합니다. MATTSON 2900 (MATTSON 2900) 은 디지털 컨트롤러가 있는 열 관리 장치로서, 시스템이 자체 조절되고 지속적으로 모니터링됨을 의미합니다. 즉, 장치와 공구 내에서 처리되는 모든 구성 요소가 손상되지 않도록 합니다. 열 자산은 디지털 펄스 너비 변조 기술 (digital pulse width modulation technology) 과 독점 프로그래밍 가능한 하드웨어를 사용하여 정확한 난방 및 냉각을 보장합니다. 이러한 기능은 프로세스 변형을 최소화하고, 궁극적으로 디바이스를 이식하는 데 걸리는 시간을 단축할 수 있도록 특별히 설계되었습니다. 또한, 2900 (2900) 은 다양한 온도에서 정확한 온도 제어를 위해 균일 한 가열을 제공하도록 설계된 독특한 표면 실장 히터 (surface mount heater) 를 갖추고 있습니다. 이를 통해 프로세스 사이클 시간을 줄이고 가스로 채워진 챔버 (chamber) 에서 열을 보다 효율적으로 전달할 수 있습니다. 또한 서피스 마운트 히터 (surface mount heater) 에는 다양한 제어 설정이 있으며, 이를 통해 사용자는 프로세스를 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 전반적으로 MATTSON 2900 Rapid Thermal Processor (빠른 열 프로세서) 는 반도체 장치의 처리 시간을 매우 통제되고 반복 가능한 방식으로 단축하도록 설계된 고급 모델입니다. 고유한 저류 전달 장비 (low flow delivery equipment) 와 고급 디지털 제어 (digital control) 는 어닐링 프로세스 동안 정확한 온도 조절 및 최적의 효율성을 보장합니다. 이로 인해 처리 시간이 단축되고 성공률이 높아집니다. 반도체 기반 제품의 개발을 촉진하는 데 도움이 됩니다.
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