판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS Summit XT #9095589

EATON NOVA/AXCELIS Summit XT는 600 ° C ~ 800 ° C의 온도에서 실리콘, 저마늄, 갈륨 비소 및 초유압과 같은 양질의 웨이퍼 재료를 빠르게 처리하는 빠른 열 프로세서입니다. 이 제품은 서브 미크론 리소그래피 (sub-micron lithography) 응용 프로그램을 위해 특별히 설계되어 금속 층의 정확한 에칭 및 도핑 및 웨이퍼 생성을위한 기타 재료가 가능합니다. AXCELIS Summit XT (AXCELIS Summit XT) 는 한 번에 최대 18 개의 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 단시간 내에 여러 웨이퍼를 제작할 수 있습니다. 이 장비는 AXCELIS에서 개발 한 유도 가열 기술 (induction heating technology) 을 사용하여 빠르고 효율적으로 웨이퍼를 가열합니다. 이 시스템에는 펄서 12 (Pulsar 12) 라는 4 개의 구역 핫 월 캘시너가 있으며, 저항 가열 요소가 최적화되어 정확한 온도 조절이 가능합니다. EATON NOVA Summit XT는 높은 정확성과 반복성, 열 산화 및 에칭을위한 프로세스 창을 제공합니다. 자동 컴퓨터 제어 프로세스 단계와 운영자 안전 향상 (Self-Diagnosing) 기능을 갖추고 있습니다. 또한 이 기계에는 디지털 온도 프로파일 (digital temperature profile) 및 영역당 온도 피드백 (per-zone temperature feedback) 과 같은 고급 진단 기능이 장착되어 있습니다. 실시간 레시피 데이터베이스를 사용할 수 있으며, 사전 프로그래밍된 반복 가능한 프로세스가 가능합니다. 서밋 XT (Summit XT) 는 특히 폴리 실리콘 (polysilicon) 과 같은 처리하기 어려운 재료를 처리 할 때 뛰어난 프로세스 균일성과 향상된 프로세스 반복성을 제공합니다. LP (Low-Maintenance) 장치는 모듈식 구성 요소와 이중화 (Reduplicative Redundancy) 기능을 통해 간편하게 수리 및 서비스를 수행할 수 있도록 설계되었습니다. EATON NOVA/AXCELIS Summit XT에는 내부 온도 측정 포트 및 실시간 자동 동작을 제공하는 프로세스 컨트롤러 (Process Controller) 와 같은 많은 표준 기능이 포함되어 있습니다. 또한 상세한 프로세스 모니터링, 자동 안전 잠금 및 안전 제어 릴레이가 포함됩니다. 이 도구는 또한 Nitrogen 및 Argon 주변 제어 옵션, 자동 가스 차단 및 원격 차단 연결을 제공합니다. 요약하자면, AXCELIS Summit XT Rapid Thermal Processor는 안정적이고 정확한 자산으로, 정확성과 반복 능력을 갖춘 웨이퍼를 신속하게 처리하도록 설계되었습니다. 작동이 간단하고, 다양한 프로세스 옵션을 제공하며, 고급 진단 및 안전 (Safety) 기능을 제공합니다.