판매용 중고 DNS / DAINIPPON LA-820 #9198165

DNS/DAINIPPON LA-820은 고급 microfabrication 및 장치 특성화 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 정확성과 반복성이 높은 견고하고 신뢰할 수있는 장비입니다. 이 시스템은 각 반복에 대해 주기 시간 (10ms) 으로 열 주기를 생성 할 수 있습니다. 열 공정 온도 범위는 -150 ° C ~ 550 ° C이며, 해상도는 0.1K, 온도 균일성은 ± 2K입니다. 이 장치에는 열 사이클링 기능이있는 용광로가 장착 된 고속 가열 핫플레이트 (rapid heated hotplate) 와 비활성 질소 또는 아르곤 가스 공급 기계 (argon gas supply machine) 가 완성 된 밀폐 반응 챔버 (enclosed reaction chamber) 가 포함되어 있습니다. 반응 챔버를 사용하면 최대 4 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 각각 8 인치입니다. 직경입니다. 챔버의 온도 범위는 25 ° C ~ 350 ° C이며, 해상도는 0.1K, 온도 균일성은 ± 2K입니다. 또한 4축 변환 단계를 통해 열 처리 중 웨이퍼 위치 (Wafer Position) 와 방향 (Orientation) 을 정확하고 정확하게 제어할 수 있습니다. 통합 제어 자산은 높은 정확도와 정확도를 제공합니다. 또한 열 처리 중에 이상이 없음을 감지하여 고정밀도, 복잡한 열 처리 (thermal process) 에 사용할 수 있습니다. 통합 데이터 로깅 소프트웨어를 사용하면 온도, 가스 농도, 흐름 속도 등 다양한 프로세스 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. DNS LA820에는 클로즈드 루프 온도 제어 모델 (closed-loop temperature control model), 장애 안전 센서 (fail-safe sensor) 및 과열 상황에 대한 자동 종료를 포함한 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 이 장비에는 또한 열조작 소프트웨어가 포함되어 있어 램프 업 (ramp-up )/쿨다운 시퀀스 (cool-down sequence) 를 포함한 장치 열 순환 시퀀스를 높은 정밀도로 프로그래밍 할 수 있습니다. DAINIPPON LA 820은 고급 microfabrication 및 장치 특성화에 이상적인 시스템입니다. 매우 빠른 열 사이클링 (thermal cycling) 기능과 높은 정확성과 반복 성을 갖춘 견고하고 안정적인 장치를 제공합니다. 여러 개 의 "웨이퍼 '를 여러 개 의 열" 프로파일' 로 처리 하는 데 적합 하여, 여러 가지 응용 프로그램 에 적합 하다.