판매용 중고 DNS / DAINIPPON LA-820 #9148527

DNS/DAINIPPON LA-820은 원하는 전기, 광학 및 기계적 특성을 만들기 위해 기판 또는 웨이퍼에 열 처리를 제공하는 데 사용되는 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. RTP는 난방 요소, 가스 제어 시스템 (gas control system) 및 진공 기술의 조합을 사용하여 기질의 균일 한 열 처리를 제공하며, 챔버 외부의 최소 열 손실 또는 방사선을 보장합니다. DNS LA820 에는 2 개의 독립적 인 작동 챔버가 있으며, 이는 다른 단계에서 다른 온도가 필요한 프로세스에 이상적입니다. 각 챔버가 독립적으로 작동하면, 더 빠른 주기 시간, 유지 보수 비용 감소, 프로세스 간의 오염 감소 등이 가능합니다. 또한 온도 조절 시스템 (Temperate Control System) 을 통해 챔버에서 챔버까지의 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. "RTP '는 기질 온도 를 매 약실 에 대해 연속적 이고 독립적 으로 측정 하는 높은 정확도 의" 피로미터' 를 가지고 있다. 이렇게 하면 프로세스 중에 정확한 온도 설정이 유지됩니다. 피로미터는 최대 900 ° C의 온도를 측정 할 수 있습니다. 챔버 사이의 온도 균일성도 ± 1 ° C 내에 있습니다. DAINIPPON LA 820은 또한 에너지 비용을 최소화하는 빠른 사이클 시간을 특징으로합니다. 가스 흐름 컨트롤러는 각 챔버에 대해 독립적 인 가스 흐름 제어를 허용합니다. 이것은 안정적인 온도 대기 측정을 보장하는 정확한 가스 제어를 제공합니다. RTP의 총 주기 시간은 일반적으로 기판 크기, 온도 프로파일, 사용되는 가스에 따라 10 초입니다. 또한, "라820 '은" 가스' 조절 외 에도 통합 나선형 "터어보 '" 펌프' 와 황삭 "펌프 '를 함유 한 능동 진공 장치 를 가지고 있다. 따라서 외부 펌프가 필요 없으며, 프로세스 간의 오염을 방지할 수 있습니다. 통합 진공계는 또한 산화 (oxidation) 또는 질화 (nitridation) 와 같은 공정을 위해 통제 된 대기를 제공한다. 전반적으로 DNS/DAINIPPON LA 820은 효율적인 빠른 열 프로세서로, 기판 및 웨이퍼에 대한 높은 정확도, 고온 열 처리를 제공 할 수 있습니다. 신속 한 "사이클 '시간 과 정밀 한 온도 조절 을 하며, 또한 믿을 만한" 가스' 조절 과 대기 조절 을 한다.