판매용 중고 SEMISHARE SX12 #9259731
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ID: 9259731
웨이퍼 크기: 12"
Automatic DC probe station, 12"
Sealed micro chamber
EMI / Light / Noise
Chuck, 12" with central vacuum hole
Vacuum rings for sample holding
Super low noise tri-axial chuck
Output tri-axial adapter
Chuck flatness: 5µm
Chuck quick roll out mechanism for fast wafer exchange
Probe card and probe card holder are adaptable to platen
Platen can load up to (12) micro-positioners
EMI Shielding: > 30 dB (Typical) at 1 kHz to 1 MHz
Light attenuation: 130 dB
Spectral noise floor: ≤ -180 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)
System AC noise: ≥ 5 mVp-p (≤ 1 GHz)
Optimized microchamber for less CDA consumption
Chuck XYZ-Theta
4 Axes
High precison motorized stage
Controlling system
Travel range: 350 x 500 x 20 mm
X, Y, Z Direction motion resolution: Minimum 0.1 microns
Repeatability: ± 1µm
Accuracy: ± 2µm
Chuck angle rotation range: ± 10°
Theta resolution: 0.0001°
Theta repeatability: 0.0005°
Theta accuracy: 0.001°
Maximum speed:
X/Y Axis: 70 mm/s
Z Axis: 20 mm/s
Chuck driver mechanism:
Zero backlash design
Grinded ball screw and linear guide rail
Chuck stage axes:
Linear scale resolution: 0.1 µm
Microscope XYZ motorized stage and controlling system
Microscope XYZ travel: 2" x 2" x 5"
Maximum speed: > 10 mm/s
Computer connection port:
RS232/485
TCP/IP
GPIB
Motors: Low noise DC motor
Anti-vibration table
SEMISHARE 3 Zoom
High resolution long working distance microscope
Three-speed zoom microscope 15:1
Display low magnification: 0.6x
Display high magnification: 2.5x / 9x
Microscope focus block:
Z Travel: 50.8 mm
Resolution: 1µm
(2) CCD Adapters inside
C Mount adapter
High power white light source: 150 W
Objective: 5x
WD: 34.0 mm
NA: 0.14
Visual magnification: 120-1,800x
(2) Industrial HD (2 Million pixels) CCD
SONY CMOS 2/3"
Resolution: 1920 x 1200
Frame: 30 fps
GigE Interface
(2) SEMISHARE SS-100 Micropositioners
Magnet base with switch
Linear XYZ travels: 12 mm
Linear motion
Probing Inclination: 0-30°
Accuracy: 0.7 microns
(2) AMERICAN PROBE & TECHNOLOGIES 74CJ-APT-KS Kelvin coaxial probe holders
One probe tip
Tip radius: 0.5/1.5/5/10/12.5/15/20 um
AMERICAN PROBE & TECHNOLOGIES 73CT-APTA
Replaceable coaxial probe
Tip radius: 0.5/1.5/5/10/12.5/15/20 um
MEDO VP 125
Silent oil-free vacuum pump 7 l/min
Air compressor
Noise level: 52dB.
SEMISHARE SX12는 반도체 테스트에 사용되는 고도로 고급 전문가입니다. 활성 컴포넌트 또는 장치 (예: 집적 회로나 트랜지스터) 의 접점을 조사하는 데 사용되는 특수 도구입니다. 최고 수준의 정확성과 반복성으로 목표에 도달 할 수있는 프로브 (Probing) 솔루션을 제공합니다. SX12 프로버에는 정밀 고속 실리콘 기반 테스트 헤드가 포함되어 있습니다. 자체 포함 된 웨이퍼 프로버 (wafer prober) 구조로 통합되어 접촉 지점을 정확하게 찾고 측정 할 수 있습니다. 테스트 헤드는 0.5 미크론 (1.27 x 10-5 인치) 의 매우 높은 정확도를 제공합니다. 이를 통해 매우 작은 구성 요소를 테스트할 수 있으며, 이는 SEMISHARE SX12 의 광범위한 디바이스 테스트 기능에 기여합니다. 정교한 테스트 헤드와 함께 SX12는 정확한 먼지 없는 웨이퍼 장착 플랫폼을 갖추고 있습니다. 이 보안 접촉은 가능한 미세 오염으로부터 샘플을 보호하는 수단을 제공합니다. 웨이퍼는 고급 공압 클램핑 시스템을 사용하여 제자리에 장착됩니다. SEMISHARE SX12 prober는 또한 고급 자동화 기능을 제공합니다. 여기에는 일련의 T-way, X-Y 및 깊이 스캔을 결합 할 수있는 프로그래밍 가능한 경로 생성 시스템이 포함됩니다. 프로브는 샘플 대상에 액세스 할 수 있으며, 0.05 미크론 정도의 높이에서 정보를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한 자동 이득 제어 및 안정성 보정 기능이 포함되어 있으며, 자동화된 테스트 능력을 더욱 확장합니다. SX12 (SX12) 는 시장에서 사용할 수 있는 다른 제품에는 없는 정확도 표준에 도달할 수 있는 혁신적인 전문가입니다. 종합적인 자동화 기능과 더불어 테스트 헤드의 정확도가 높은 반도체 (semiconductor) 제조업체에게 액티브 컴포넌트 (active component) 나 디바이스에서 매우 정확한 접점 (contact point) 을 측정하는 툴을 제공한다. 집적 회로, "트랜지스터 ', 기타 어떤 형태 의 반도체 를 사용 하고 있든지 간 에," 세미사레' SX12 프로버 '는 다른 어떤 도구 에서도 볼 수 없는 정확도 에 도달 할 수 있다.
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