판매용 중고 MICROMANIPULATOR 6640 #138584
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ID: 138584
Semiautomatic probe station
6" Gold plated vacuum chuck
Mitutoyo FS-60 microscope
(2) 10X Eyepieces
MPlan Apo SL50X objective
Joy stick controller
PC(X)-1 Controller
(2) Micromanipulator RCS-6-LN drivers
Windows 95
PC Probe2 software
Instruction manual.
마이크로 마니 풀레이터 6640 (MICROMANIPULATOR 6640) 은 작고 섬세한 전자 부품 및 부품 어셈블리의 높은 정밀 분석 및 조작을 위해 설계된 고급 전문가입니다. 이 고급 프로버 장비에는 모션 제어 2 축 (motion-controlled two-axis) 단계가 포함되어 있으며, 고급 소프트웨어를 통해 프로그래밍 가능하게 작동하여 프로빙 및 조작 암을 정확하게 제어 할 수 있습니다. X축은 고급 마찰없는 유도 (frictionless guidance) 를 사용하여 웨이퍼를 빠르게 이동 할 수 있으며, 세타 축은 프로브 팁의 정밀한 모니터링 및 조작을 200 nm 이상 이내로 가능하게합니다. 6640 시스템은 CAM 컨트롤러, 현미경 스테이지, 조작기 무장 장치, 프로그래밍 가능한 모션 컨트롤 패널, 프로브 팁 포지셔닝 스테이지 및 전원 공급 장치로 구성됩니다. CAM 컨트롤러는 사전 프로그래밍 된 움직임과 프로브 헤드의 라이브 컨트롤을 허용하며, 200 nm 이상 내에서 반복 가능한 정확도를 제공합니다. 현미경 단계 (microscope stage) 를 사용하면 현미경에서 정확한 검사를 위해 웨이퍼를 배치 할 수 있으며, 조작기 무장 기계 (manipulator arming machine) 는 조정 가능한 프로브 암 (probe arm) 을 갖추고 운영 온도 범위 내에서 최적의 반복성과 정확한 작동을 제공합니다. 프로그램 가능한 모션 제어판 (programmable motion control panel) 은 정확한 방식으로 정확한 조작에 이상적이며, 특정 테스트 작업에 대한 프로그래밍 가능한 트리거와 웨이퍼 포지셔닝에 대한 반복 가능한 이동이 있습니다. 프로브 팁 포지셔닝 스테이지에는 정확한 테스트를 위해 분수 턴이 있으며, 최대 40 도의 정확한 위치가 있습니다. 전원 공급 장치 (Power supply unit) 는 프로브 헤드의 정확한 테스트 및 제어를 위한 최적의 전원 공급 장치를 제공합니다. MICROMANIPULATOR 6640 도구에는 자동 조정 가능한 프로브 팁 홀더, 다양한 정확도 조작기, 다양한 NIST 추적 가능한 프로브, 전자 현미경 뷰 파인더 등 다양한 액세서리 및 도구가 포함되어 있습니다. 자동 조정 가능한 프로브 팁 홀더 (tip holder) 는 바늘 홀더에서 정확한 위치를 제공하는 반면, 높은 정밀도 조작기는 프로브 팁을 200 nm 이내로 동적으로 제어합니다. NIST 추적 가능한 프로브의 범위는 작업에 대한 올바른 프로브를 사용하여 테스트를 수행하도록 보장합니다. 마지막으로, 전자 현미경 뷰 파인더는 정확한 검사를 위해 웨이퍼를 실시간으로 시각화합니다. 결론적으로, 6640 (6640) 은 섬세한 컴포넌트 및 컴포넌트 어셈블리의 정확한 테스트 및 조작을 위해 설계된 고급 전문가입니다. 에셋은 프로브 헤드 (Probe Head) 를 200 nm 이내 이상으로 정밀 제어하는 다양한 고정밀 부품 및 액세서리 (Accessory) 를 포함하고 현미경으로 웨이퍼 (Wafer) 를 완벽하게 제어하고 테스트합니다. 이 모델은 섬세한 컴포넌트와 어셈블리를 정확하게 검사하는 데 적합합니다.
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