판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC PA 300 #9353318
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KARL SUSS/MICROTEC PA 300은 하이엔드 IC 요구 사항을 조사하기 위해 설계된 프로버입니다. 프로세스 모니터링, 트랜지스터 특성, 트랜지스터 전송 곡선, 웨이퍼 모니터링, 경계 스캔 모니터링, 다양한 디바이스/구성 요소 테스트 등을 수행하는 데 적합합니다. 이 Prober는 높은 수준의 정확성과 반복 성을 제공합니다. 자동화된 웨이퍼 처리 기능, 낮은 충격, 빠른 열 사이클링, 고속 프로브 (Probing) 기능을 통해 고급 IC 생산에 뛰어납니다. MICROTEC PA 300은 프로버 베이스, 웨이퍼 홀더, 프로브 헤드, 웨이퍼 매핑 장비 및 모션 제어 시스템을 갖춘 자동화된 멀티 축 웨이퍼 프로버입니다. 다중 축 동작 제어 장치를 사용하면 복잡한 동작 및 프로브 이동이 가능합니다. 이 기계는 오랜 실행 시간에 걸쳐 높은 정확성과 반복성을 보장합니다. 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 는 쉽고 안전한 웨이퍼 처리를 위해 설계된 상단 및 하단 플레이트가있는 이중 버전입니다. KARL SUSS PA300은 빠른 프로세스 모니터링을 위해 빠르고 고해상도 열 순환 도구를 제공합니다. 에셋은 온도 범위에 따라 5 ~ 60 초의 주기 시간을 가지며 VCC 가열 속도 (최대 65 ° C/s) 는 빠른 측정을 보장합니다. 온도 사이클링은 정밀 폐쇄 루프 펠티어 제어를 통해 수행됩니다. 프로버 (Prober) 는 또한 클린 룸 (Clean Room) 호환성 옵션을 통해 스테이션을 먼지가 없고 잘 제어되는 환경을 유지함으로써 효과적인 작업 환경을 보장합니다. 또한, 모델이나 Probe 프로세스 오작동 시 스테이션을 지속적으로 모니터링하고 설정을 자동으로 복구하는 고급 자동 복구 (Advanced Auto-Recovery) 기능이 제공됩니다. KARL SUSS/MICROTEC PA300의 총 프로빙 속도는 2.25 m/s, 0.5 ym 축 반복성, 0.9 "m 선형 오류, 5 cm/s 모터 속도 및 0.5" m 프로그래밍 해상도를 갖습니다. 고급 로봇 암 (robotic arm) 을 사용하여 프로브 헤드를 프로브 배치 좌표로 이동합니다. 자동 웨이퍼 처리 기능을 통해 카세트 장비 (cassette equipment) 와 1000 밀리미터 방사형 도달 (robotic arm) 을 사용하여 빠른 웨이퍼 교환이 가능합니다. 요약하자면, PA300은 고급 IC의 1.5 "m-5" m 프로브 요구를 위해 고도로 정확하고 신뢰할 수있는 프로버입니다. 자동화된 웨이퍼 처리 (wafer handling), 빠른 열 사이클링 (thermal cycling), 고해상도 (high resolution) 및 강력한 동작 제어 시스템 (motion control system) 을 통해 복잡한 조사 및 프로세스 모니터링 작업에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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