판매용 중고 ASTEX / MKS D13449 #9411203
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ASTEX/MKS D13449는 스퍼터링, 증발, 기타 열 프로세스와 같은 플라즈마 기반 시스템에 RF 에너지를 공급하도록 설계된 고전압 전원 공급 장치입니다. 최대 2,000V 의 고전압에서 최대 5kW 의 전력을 제공 할 수 있습니다. 이 전원 공급 장치는 다중 출력 (Multiple Output) 구성을 갖추고 있습니다. 즉, 다양한 요구 사항이 있는 다양한 어플리케이션에 사용할 수 있습니다. MKS D13449 는 단일 (unipolar) 또는 양극성 (bipolar) 모드에서 작동하여 광범위한 작동 및 출력 조건을 제공할 수 있습니다. 또한 전류 (current) 및 전압 피드백 제어 (feedback control) 기능을 갖춘 고효율 전원 컨버터 설계를 통해 사용자는 최고의 정확성과 안정성을 얻을 수 있습니다. 또한, 이 전원 공급 장치는 프로세스의 안전을 보장하기 위해 활성 전압 (Active Voltage) 및 전류 제한 (Current Limiting) 기능을 제공합니다. 이 장치에는 또한 HMI (Digital Human Machine Interface) 가 장착되어 있으므로 사용자는 프로세스를 쉽게 모니터링하고 제어 할 수 있습니다. 디지털 입출력 (I/O) 모듈을 프로그래밍하여 원하는 출력을 제공하고 프로세스의 최신 상태를 모니터링할 수 있습니다. 또한, 모듈을 함께 연결하여 강력한 모니터링/제어 솔루션을 제공할 수 있습니다. ASTEX D13449는 플라즈마 기반 제조 및 처리의 엄격한 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 업계 표준 구성, 고성능 컨버터 (high-power converter), 디지털 HMI 등을 통해 이 전원 공급 장치를 제조 요구 사항에 맞게 인체 공학적이지만 강력한 솔루션으로 만들 수 있습니다. 이 전원 공급 장치는 견고하고, 안정적이며, 정확한 고전압 출력을 제공하여 박막 증착, 에칭, 스퍼터링 등의 어플리케이션에 적합합니다.
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