판매용 중고 VERTEQ 1800 #9410983

제조사
VERTEQ
모델
1800
ID: 9410983
웨이퍼 크기: 6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 6".
VERTEQ 1800은 PCB 생산, MEMS 및 고급 포장과 같은 복잡한 마이크로 일렉트로닉 제작 프로세스를 위해 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 첨단 시스템 (Advanced System) 은 뛰어난 포토리스 (photoresist) 해상도와 높은 노출 정확도를 제공하여 다양한 잠재적 응용에 적합합니다. 1800은 18 J/cm ²/sec에서 노출이 가능한 고급 수은 노출 소스를 사용하여 최소 너비의 0.1-0.2jm의 생산 등급 기능을 플러스/마이너스 5% 로 산출합니다. 이 장치의 마스크 기반 노출 기법 (mask-based exposure technique) 은 사용자가 패턴의 다른 부분에 대해 다양한 노출 용량을 적용할 수있는 기능을 제공합니다. 이를 통해 MEMS와 같은 영역에서 고해상도 구성이 가능합니다. VERTEQ 1800은 고급 고감도 광학 머신으로 설계되었습니다. 또한 다이렉트 이미징 기술뿐만 아니라 100ms 플래시 램프 (flash lamp) 를 사용하여 저항 패턴으로 흩어진 빛을 감지합니다. 전체 공구에는 마이크로 일렉트로닉 저항재 (microelectronic resist material) 를 반복적으로 포괄적으로 관리 할 수있는 고급 저항 처리 스테이션 (advanced resist handling station) 이 포함되어 있습니다. 1800 은 완벽하게 통합된 자산으로, 사용자는 최적의 처리량과 낮은 운영성 비용을 누릴 수 있습니다. 완전 자동 저항 (Full Automatic Resist) 로드 및 언로드 메커니즘과 최적화된 프로세스 흐름을 사용하여 Photoresist 코팅, 노출, 개발 등의 프로세스를 신속하게 수행할 수 있습니다. 전반적으로, VERTEQ 1800은 대용량, 신뢰성, 효율적인 포토리스 스트 (photoresist) 모델로 사용자에게 높은 정확도로 생산 등급 기능의 이점을 제공합니다. 고급 기능으로 다양한 마이크로 일렉트로닉 제작 (microelectronic fabrication) 요구 사항에 적합한 옵션으로, 사용자에게 포토리스 (photoresist) 제작을위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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