판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9244883

ID: 9244883
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
System, 8" 1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 (TEL MARK7) 은 사진 석판 촬영 및 기타 석판 공정을 위해 설계된 세계적 수준의 포토 esist 장비입니다. 고급 모터 제어 기술, 열 제어 공정 헤드 디자인, 매우 정밀한 옵틱 (optic) 및 독특한 웨이퍼 홀더 디자인을 결합하여 매우 정확하고 신뢰할 수있는 시스템을 만듭니다. 이 장치에는 통합 로드 (integrated loading) 기능이 있어 사용자가 자동으로 웨이퍼를 로드하고 전체 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 도쿄 전자 마크-7 (TOKYO ELECTRON MARK-7) 은 리소그래피 프로세스 동안 저항 패턴을 제어하면서 과도한 노출을 감지하고 수정 할 수 있으며, 이는 더 높은 수율로 이어집니다. 이 기계는 깊이 (depth of field) 로 인한 기하학적 왜곡 보정을위한 강력한 알고리즘을 가지고 있으며, 최대 2/1000 의 정확도로 이미지 평가를 실행할 수 있습니다. 또한 코팅, 정렬 및 측정을위한 고급 레이저 스캐닝 (advanced laser scanning) 도구를 사용하여 높은 정밀도를 허용합니다. MARK-7에는 군중에서 눈에 띄는 몇 가지 고급 기능이 있습니다. 이 자산은 독점적인 고성능 광학 장치 (optic) 를 사용하여 다른 기존 시스템보다 정확도가 높습니다. 고급 3 차원 틸트 제어 기술과 최첨단 서보 드라이브를 사용하기 때문에 최대 정밀도를 위해 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON Mark 7은 또한 펄스 레이저 빔 에너지 복원 (pulsed laser beam energy restitution) 을 허용하는 뚜렷한 특징을 가지고 있으며, 이는 기본적으로 내장 된 냉각 모델을 사용하여 기판 왜곡을 줄이는 데 도움이됩니다. 또한, 이 장비는 유지 보수 및 업그레이드 절차를 간소화하는 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 또한 효율적이고 빠른 운영 (Fast Operation) 을 통해 최소한의 생산 비용으로 시스템을 경제적으로 유지할 수 있습니다. 이 장치는 지속될 예정이며, 진단 유틸리티 (diagnostics) 가 내장되어 있기 때문에, 장애 발생 시 이전에 사용자에게 경고 메시지가 표시됩니다. 요약하자면, Mark 7은 다른 시스템에 비해 많은 이점을 제공하는 프리미엄 포토레스 머신입니다. 첨단 모터 컨트롤 기술, 정밀 옵틱, 웨이퍼 홀더 (Wafer Holder) 디자인이 잘 장착되어 있어 정확성과 효율성이 향상되었습니다. 모듈식 설계를 통해 유지 관리 및 업그레이드가 쉬워지고, 내장형 진단 기능을 통해 도구의 안정성과 수명이 늘어납니다.
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