판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9244864
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7은 포토 마스크 제작 산업에 사용되는 완전 자동화 처리 장비입니다. 이 시스템은 노출 시간을 최소화하면서 정확한 패턴화 (patterning) 결과를 가능하게 하는 첨단 기술을 갖추고 있습니다. 자체 포함 된 레이저 제거 장치 및 전자 보드는 포괄적 인 기능을 제공합니다. 이 장치의 통합 설계는 간단한 작동 및 유지 관리를 보장합니다. TEL MARK7 은 완벽한 자동 마스크 선택기를 사용하여 원하는 인쇄 패턴에 맞게 최적의 노출 성능 (Optimum Exposure Performance) 매개변수를 선택합니다. 이를 통해 뛰어난 이미지 처리를 위한 정확한 마스크 준비가 가능합니다. 기계의 독특한 특징은 독점적 인 필름 부식층 제거 하위 시스템입니다. 이 기능을 사용하면 포토리스 연주자와 에칭을 빠르고 효율적으로 제거 할 수 있습니다. 부식층 제거 하위 시스템은 완전히 컴퓨터 화 된 마스크 제작에 가장 효과적인 기술 중 하나입니다. TOKYO ELECTRON MARK-7의 필름-필름 노출 모드는 노출 과정에서 웨이퍼 또는 시드 레이어의 움직임을 제거합니다. 이것은 "램프 (ramp)" 노출 과정을 통해 이루어지며, 노출 시간은 위아래로 램프되어 강도를 제어하고 균일 한 노출 범위를 개발합니다. 즉, 마스크 패턴이 기판의 후속 레이어에 불일치 없이 노출됩니다. 이 도구의 고정밀 웨이퍼 조작기는 레이저 모듈의 정확한 포커싱 및 정렬을 보장합니다. "레이저 '는 기판 에 있을 수 있는 잔류 한 표면 결함 이나" 스크래치' 를 정확 하게 수정 하고 형성 하는 데 사용 된다. 웨이퍼 조작기 (wafer manipulator) 는 또한 레이저 동작을 제어할 수 있고, 가장자리가 매끄러운 패턴을 노출시키고 개발하기에 충분히 정확합니다. 자산의 현미경 단위 (microscope unit) 는 기판 손상을 최소화하고 더 세밀한 패턴을 생성하기 위해 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 정확하게 인식 할 수있다. TEL MARK-7은 사용이 간편한 자동 마스크 제작 프로세스를 지원하는 최첨단 처리 모델입니다. 그 독특 한 특징 은 모든 "마스크 '제작 분야 에서 최고 의 정확도 를 제공 하는 한편, 비용 과 시간 을 감소 시킨다. 이러한 특징은 TOKYO ELECTRON Mark 7을 포토 마스크 제작 산업에서 매우 중요한 도구로 만듭니다.
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