판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9241226

ID: 9241226
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
(5) Developer system, 8" Dual block 1997 vintage.
텔/도쿄 전자 마크 7 (TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7) 은 포토 esist 부피의 정밀한 측정과 구성 요소의 오해를 통해 고 수율 및 균일 한 조성을 생산하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 정밀도 높은 기계적 측정 장치 (stereomicroscope) 를 사용하여 챔버 내에서 포토 esist의 부피를 정확하게 측정합니다. TEL MARK7 은 또한 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 를 활용하여 사용자가 photoresist 구성 요소의 상대적 오해를 정확하게 조정하여 이상적인 석판화 성능을 보장합니다. 이 장치는 일반적으로 회로 기판 생산과 같은 고급 석판 프로세스에 사용됩니다. TOKYO ELECTRON MARK-7은 포토 esist를 프로세스 챔버에 정확하게 전달하기위한 자동 디스펜서를 갖추고 있습니다. 자동 분배기 (automated dispenser) 는 구성 요소의 정확한 혼합을 사용하여 적절한 포토 esist 부피 및 조성을 챔버에 정확하게 분배합니다. 디스펜서는 또한 이상적인 포토 esist 구성을 보장하기 위해 프로세스 챔버 (process chamber) 의 성능을 지속적으로 모니터링하는 독특한 컨트롤 머신 (control machine) 을 특징으로합니다. 또한 MARK-7에는 재분배 제어 (re-dispensing control) 가 포함되어 있으므로 자동 분배기는 이상적인 성능을 유지하기 위해 필요에 따라 추가 photoresist 구성 요소를 분배할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7 (TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7) 은 프로세스 챔버 내에서 포토 esist 구성을 모니터링하고 운영자에게 실시간 피드백을 제공하는 고급 소프트웨어를 제공합니다. 고급 소프트웨어 아키텍처 (Advanced Software Architecture) 를 통해 도구는 포토 esist의 구성을 빠르게 조정하고 이상적인 석판화 성능을 보장할 수 있습니다. 또한 에셋은 사용자에게 포토레시스트 (photoresist) 컴포지션을 표시하는 그래픽 인터페이스 (graphical interface) 를 제공하여 사용자가 문제를 신속하게 해결하고 효과적으로 해결할 수 있도록 합니다. 이 모델은 고정밀 기계식 측정 장치 인 입체 (stereomicroscope) 를 사용하여 공정 챔버 내에서 포토 esist의 부피를 정확하게 측정합니다. 스테레오미크로스코프 (Stereomicroscope) 는 사용이 간편한 인터페이스를 특징으로, 사용자가 측정 매개변수를 빠르게 설정하고 조정할 수 있습니다. 스테레오 미코 스코프 (stereomicroscope) 는 또한 초점 확장 (focus extension) 과 같은 고급 기능을 특징으로하며, 동시에 수많은 photoresist 층을 정확하게 측정 할 수 있습니다. TEL MARK-7은 높은 수율과 균일 한 조성을 생산하도록 설계된 신뢰할 수있는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고급 소프트웨어 (advanced software) 와 자동 디스펜서 (automated dispenser) 를 사용하여 실내로 포토 esist를 정확하게 전달합니다. 이 장치는 또한 포토 esist 부피의 정확한 측정 및 컴포넌트의 오해 (miscibility) 를위한 고정밀 기계적 측정 장치를 특징으로합니다. MARK7 은 회로 기판 생산과 같은 고급 석판화 (lithographic) 프로세스를 위한 안정적이고 안정적인 선택입니다.
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