판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239701
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9239701
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Right
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 포토 esist 장비는 반도체 제조 공정을 위해 설계된 첨단 포토 리토 그래피 시스템입니다. TEL MARK7 장치는 매우 정밀한 해상도로 다양한 포토 esist를 패턴화하고 노출 할 수 있으며, 반도체 제조의 여러 고급 단계에서 사용됩니다. TOKYO ELECTRON MARK-7 머신의 중심에는 알투스 노출 도구 (ALTUS Exposure Tool) 가 있는데, 이 도구는 다양한 유형과 민감성의 포토 esist를 노출시키기 위해 레이저 및 할로겐 램프를 선택할 수 있습니다. 또한 광범위한 고해상도 정렬 및 검사 기능도 포함되어 있습니다. 알투스 노출 (ALTUS Exposure) 에셋의 오픈 루프 (open-loop) 소프트웨어는 다양한 유형의 포토레지스트로 최대 256개의 레이어를 패턴화할 수 있습니다. 모형은 사용 중인 photoresist 유형에 따라 노출 경계를 정확하게 정의하고 조정할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 각 레이어에 대해 노출 시간을 변경하고 최적화할 수 있습니다. ALTUS 해상도 패턴 기술 (ALTUS Resolution Patterning Technology) 은 모든 기능을 정확하게 배치하는 동시에 가능한 최고 해상도를 제공합니다. Mark 7 장비는 BEAMER (전자 빔에 의한 고해상도 이미징) 을 사용하여 ECRIS (Enhanced Critical Resolution Imaging System) 이미징을 수행 할 수도 있습니다. MARK-7 장치의 고급 결함 감지 기능은 TELECISAS (TELETron ™ Machine for Advanced Inspection and Simulation) 에서 제공합니다. TELECISAS 기능에는 최첨단 프로그레시브 결함 감지 알고리즘과 품질 제어 정보를 갖춘 포괄적 인 데이터베이스가 포함됩니다. MARK7 툴의 고화질 (high-precision) 노출 기능 외에도 데이터 및 재료 관리 기능도 매우 인상적입니다. 모든 필수 정보는 데이터 중심이며, 운영 프로세스를 쉽게 제어할 수 있습니다. 지능형 데이터 마이닝 및 분석을 통해 정보를 모니터링 및 수집합니다. 재료 관리 (Materials Management) 자산은 원료부터 완제품에 이르기까지 프로세스의 모든 측면을 포괄하며, 상세한 재고 및 주문 (Ordering) 제어를 허용합니다. TEL Mark 7 모델은 고해상도, 정밀도, 품질 제어를 지원하는 고도로 향상된 photolithography 솔루션입니다. 이 제품은 비용을 제한하고 생산성을 향상시키면서 고급 반도체 제조 (Advanced Semiconductor Manufacturing) 공정을 손쉽게 도입할 수 있도록 설계되었습니다.
아직 리뷰가 없습니다