판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9239700
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ID: 9239700
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
(3) Coater system, 8"
Automation component: HSMS
Inline flow: Left
1996 vintage.
텔/도쿄 전자 마크 7 (TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7) 은 전자 빔 리소그래피 용으로 설계된 포토 esist 장비로, 집적 회로 및 기타 마이크로 일렉트로닉 구성 요소 제작을 돕기 위해 개발되었습니다. 이 시스템에는 제한된 영역에서 고에너지 전자를 전달하여 기판을 정확하게 노출시키는 특수 빔 디플렉션 유닛 (beam deflection unit) 이 포함되어 있습니다. 이는 기존의 노출 기법보다 더 지역화되고 집약적인 전압 (voltage) 프로파일을 제공하여, 패턴 제어를 개선합니다. TEL MARK7 (TEL MARK7) 에는 초점 코일을 갖춘 고급 이온 소스 (advanced ion source) 가 포함되어 있으며, 이는 빔이 작은 반점 크기로 집중되어 길 잃은 전자의 기회를 줄이고 유효 전압을 작은 지역에 퍼뜨립니다. 또한, 이 기계는 특수 설계 된 전자 디플렉터 (electron deflector) 를 사용하여 향상된 피쳐 정의 및 증착 제어로 전체 영역 스캔을 허용합니다. 이러한 구성 요소를 결합하면 0.1 미크론 정도의 높은 기능 해상도로 빠른 전자 빔 처리가 가능합니다. 또한, TOKYO ELECTRON MARK-7은 프로그래밍 가능한 플라즈마 소스 및 온도 조절을 가지고 있으며, 이를 통해 열 활성화 광저장제 또는 기타 EPIL 물질을 관심 영역으로 정확하게 전달 할 수 있습니다. 이것 은 전자 "빔 '이 여러 번 노출 될 때 에" 에너지' 를 적용 해야 할 때 에도 기질 의 균일 한 범위 를 보장 한다. 마지막으로, TEL Mark 7 도구에는 노출 된 기판을 검사하기 위해 통합 된 광학 현미경 자산이 장착되어 있습니다. 이것은 사각 지대를 제거하고 처리가 정확한지 확인합니다. 또한, 자동 스테이지 정렬 모델 (automatic stage alignment model) 을 사용하여 빔이 항상 집중되지 않고 검사되는 부품으로부터 멀리하여 사용하기에 더 안전합니다. 이러한 모든 기능을 통해, MARK-7은 전자 빔 리소그래피 (electron beam lithography) 를위한 업계 최고의 포토 esist 장비로, 마이크로 전자 부품 처리에 대한 정확성과 안전성을 제공합니다.
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