판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9246549

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 고급 반도체 제조를위한 포토 esist 트랙 장비입니다. 정밀도, 정확성, 특히 표준 포토레지스트 (photoresist) 의 매우 얇은 레이어가 필요한 프로세스에서 신뢰할 수 있는 고성능 결과를 제공하도록 설계되었습니다. TEL Clean Track Mark 7은 photoresist의 흐름을 정확하게 제어하기 위해 Twin-Gap Mass Flow Chambers와 photoresist의 균일 한 코팅을 제공하기 위해 Twin-Do Spray Nozzles를 포함한 일련의 고급 기술을 사용합니다. 또한 CCD 카메라를 사용하여 photoresist의 증착을 모니터링하고 최적의 패턴을 달성합니다. 이러한 모든 기능은 제품 품질을 향상시키고 생산량을 최대화할 수 있도록 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 또한 다중 스테이션 순차 증착주기를 사용하여 포토 esist 물질의 정확한 패턴 증착을 허용합니다. 통합 선형 모터를 사용하면 고속, 정확한 웨이퍼 처리 및 독특한 펄스 바이폴러 파워 (Pulsed-Bipolar Power) 시스템을 통해 포토리스 코팅이 일관되게 얇고 균일하게 조정됩니다. 이로 인해 원치 않는 누적 층이 형성되지 않고 정확한 적용 범위가 생성됩니다. Clean Track Mark 7은 또한 효율성과 생산성을 극대화하기 위해 설계된 다양한 소프트웨어 기능을 제공합니다. 모든 기능을 갖춘 모니터링 및 제어 장치 (monitoring and control unit) 는 photoresist 분산 및 다중 프로세스에 대한 실시간 정보를 제공합니다. 또한 이 시스템에는 모든 위치에서 운영 데이터를 액세스할 수 있는 원격 모니터링 툴 (Remote Monitoring Tool) 이 포함되어 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 (TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7) 에는 수동 재정의 및 자동 복구 기능, 실시간 프로세스 분석기 및 증착 프로세스를 완전히 제어 할 수있는 완전 자동화 자산과 같은 추가 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능은 사용자에게 증착 프로세스 (deposition process) 를 최대한 제어하고 수작업 (manual intervention) 의 필요성을 제거하도록 설계되었습니다. 전반적으로 TEL 클린 트랙 마크 7 (TEL Clean Track Mark 7) 은 제품의 품질과 생산량을 극대화하기 위해 설계된 안정적이고 고급 포토리스 트랙 모델입니다. 고급 기술과 강력한 소프트웨어 기능을 결합하여 뛰어난 성능, 정확성, 효율성을 제공합니다 (영문).