판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158027

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7
ID: 9158027
웨이퍼 크기: 8"
Coater / Developer system, 8" Single block 1C1SCR2D1IFB.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7은 집적 회로 (IC) 제조에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 시스템은 자외선 광원 (UV light source) 에 IC 기판을 노출시켜 작동하며, 자외선 (UV light) 이 떨어지는 광유전자를 원자 화시킨다. 이 장치는 디지털 논리, 아날로그 장치, ASIC (application-specific integrated circuit) 등 다양한 유형의 IC를 만드는 데 사용됩니다. 기계는 photoresist 공급, photoresist 개발 장치, 마스크 정렬 도구, photoresist 노출 자산 및 photoresist 제거 장치 등 여러 부분으로 구성됩니다. 광전자 공급 부품 (photoresist supply component) 은 광전사 (photoresist) 를 정결성을 보장하고 각 혼합물에 대해 동일한 조건을 보장하는 방식으로 공급하고 저장하는 역할을 한다. photoresist 개발 장치는 일관되고 정확한 photoresist 개발을 보장하는 데 도움이됩니다. 포토레시스트 (photoresist) 혼합물을 정확하게 배치하고 측정 한 다음, 개발 과정을 제어하여 일관된 결과를 얻습니다. 마스크 정렬 모델 (mask alignment model) 은 photoresist가 마스크에서 IC 기판으로 정확하게 전송되도록 합니다. 이 컴포넌트는 웨이퍼 위에 있는 포토 마스크 (photomask) 의 적절한 정렬을 지원하므로 올바른 피쳐가 IC 기판에 정확하게 전달됩니다. 포토 esist 노출 장비는 UV 광원과 통일성, 전력을 제어합니다. 이를 통해 포토 esist가 전체 포토 마스크에 균등하게 노출되고, 원하는 패턴이 IC 기판에 정확하게 전달되도록 합니다. 마지막으로, photoresist 제거 장치는 photoresist etching 프로세스를 관리합니다. 여기에는 에칭 공정 (etching process) 의 타이밍, 에칭 공정에 사용되는 화학 성분, 에칭 공정 (etching process) 이 전체 프로세스 전반에 걸쳐 깨끗하게 유지되도록 합니다. TEL 클린 트랙 마크 7 (Clean Track Mark 7) 은 집적 회로 제조에서 포토 esist 응용 프로그램을위한 강력하고 신뢰할 수있는 시스템입니다. photomask 정렬 및 photoresist 노출을 효과적으로, 정확하게 수행하기 위해 여러 시스템을 하나로 결합합니다. 이 장치는 IC 기질로 포토 esist를 균일 하게 옮길 수 있으며, 우수한 결과를 위해 개발 및 에칭 (etching) 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 기계는 다양한 IC 생산 요구에 적합하며 대부분의 IC 제조 시설에 의존합니다.
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